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国家自然科学基金(91223202)

作品数：7 被引量：22H指数：3
相关作者：潘国顺梁晓璐邹春莉徐莉龚桦更多>>
相关机构：清华大学研究院清华大学深圳大学更多>>
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相关领域：理学电气工程机械工程更多>>

领域

  • 11个金属学及工艺
  • 11个电子电信
  • 10个理学
  • 9个机械工程
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主题

  • 13个机械抛光
  • 12个化学机械抛光
  • 11个抛光
  • 10个电池
  • 10个抛光液
  • 10个磨粒
  • 10个金属
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  • 7个抛光垫
  • 7个离子交换
  • 6个电极
  • 6个原子
  • 6个抛光速率

机构

  • 14个清华大学
  • 13个清华大学研究...
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  • 1个中国矿业大学
  • 1个厦门大学
  • 1个中国矿业大学...
  • 1个深圳市特种功...

资助

  • 15个国家自然科学...
  • 14个国家重点基础...
  • 12个国际科技合作...
  • 8个清华大学自主...
  • 7个创新研究群体...
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  • 1个广东省科技计...

传媒

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  • 7个润滑与密封
  • 7个物理化学学报
  • 6个光学精密工程
  • 6个电源技术
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  • 2个机械工程学报
  • 2个物理学报
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  • 2个金属热处理
  • 2个材料保护
  • 2个机械工程材料
  • 2个摩擦学学报（...
  • 2个电子元件与材...
  • 2个数字制造科学
  • 1个全面腐蚀控制

地区

  • 12个广东省
  • 3个北京市
共 15 条 记 录，以下是 1-10
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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梁晓璐
供职机构：清华大学研究院
研究主题：膜电极 膜电极组件 转印 质子交换膜燃料电池 催化层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐莉
供职机构：清华大学研究院
研究主题：非贵金属 化学机械抛光 4H-SIC 晶片 非铂催化剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹春莉
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪嘉澍
供职机构：清华大学研究院
研究主题：质子交换膜燃料电池 膜电极组件 膜电极 转印 催化剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚桦
供职机构：清华大学研究院
研究主题：化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗桂海
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤皎宁
供职机构：深圳大学
研究主题：微胶囊 电沉积 复合镀层 非水体系 壁材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史晓磊
供职机构：清华大学研究院
研究主题：LED 化学机械抛光 蓝宝石 原子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈高攀
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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