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国家自然科学基金(91223202)
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潘国顺
梁晓璐
邹春莉
徐莉
龚桦
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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梁晓璐
供职机构:清华大学研究院
研究主题:膜电极 膜电极组件 转印 质子交换膜燃料电池 催化层
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徐莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:非贵金属 化学机械抛光 4H-SIC 晶片 非铂催化剂
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邹春莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
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汪嘉澍
供职机构:清华大学研究院
研究主题:质子交换膜燃料电池 膜电极组件 膜电极 转印 催化剂
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龚桦
供职机构:清华大学研究院
研究主题:化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
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罗桂海
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
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汤皎宁
供职机构:深圳大学
研究主题:微胶囊 电沉积 复合镀层 非水体系 壁材
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史晓磊
供职机构:清华大学研究院
研究主题:LED 化学机械抛光 蓝宝石 原子
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陈高攀
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
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