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中国人民解放军总装备部预研基金(51309050809)
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1
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相关作者:
董景新
胡淏
吴黎明
万蔡辛
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相关机构:
清华大学
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发文基金:
中国人民解放军总装备部预研基金
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相关领域:
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万蔡辛
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:微机电系统 加速度计 微加速度计 微机械加速度计 电容式微加速度计
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胡淏
供职机构:清华大学
研究主题:微机械加速度计 微机电系统 标度因数 硅 谐振式加速度计
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吴黎明
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:静电 体硅工艺 变压器电桥 加速度计 静电悬浮加速度计
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董景新
供职机构:清华大学
研究主题:加速度计 微机械加速度计 微机电系统 微机械 微加速度计
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