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广东省科技计划工业攻关项目(2007B010400071)

作品数：6 被引量：8H指数：2
相关作者：周金运林清华裴文彦梁国均雷亮更多>>
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机构

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地区

  • 9个广东省
共 9 条 记 录，以下是 1-9
周金运
供职机构：广东工业大学
研究主题：光刻 光学设计 光刻系统 投影光刻 焦深
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林清华
供职机构：广东工业大学
研究主题：光刻 激光光刻 PCB 印制电路板 激光投影
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴文彦
供职机构：广东工业大学
研究主题：光刻 激光光刻 均匀化 投影光刻 激光技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁国均
供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院
研究主题：激光投影 光学设计 激光技术 印刷电路板 波导管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雷亮
供职机构：广东工业大学
研究主题：飞秒脉冲 光刻 投影光刻 套刻 紫外激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王衢
供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院
研究主题：剪切 金属 电子散斑干涉 报警系统 红外CCD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冉坐
供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院
研究主题：光刻 投影物镜 投影光刻 ZEMAX PCB
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李浪林
供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院
研究主题：光刻 激光技术 模式识别 投影光刻系统 套刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李凡
供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院
研究主题：半导体工业 光刻技术 光刻 激光源 紫外激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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