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云南省自然科学基金(2007E002M)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：韩永强陈秀华张在玉更多>>
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领域

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主题

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机构

  • 3个云南大学
  • 1个安顺学院
  • 1个昆明理工大学

资助

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  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家重点实验...
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传媒

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  • 1个四川大学学报...
  • 1个原子与分子物...
  • 1个云南大学学报...
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  • 1个功能材料
  • 1个材料导报
  • 1个稀有金属
  • 1个粉末冶金工业

地区

  • 2个云南省
  • 1个贵州省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
陈秀华
供职机构：昆明理工大学
研究主题：多孔硅 吸附剂 有机改性 磁控溅射 扩散阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩永强
供职机构：云南大学物理科学技术学院
研究主题：磁控溅射 CU互连 CU ULSI SIO2/SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张在玉
供职机构：安顺学院
研究主题：金属型模具 金属型 磁控溅射 超大规模集成电路 CU互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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