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北京市科委基金(GYYKW05070014)

作品数：3 被引量：3H指数：1
相关作者：刘泽文李志坚胡光伟侯智昊张忠惠更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：北京市科委基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 2个传感器技术

地区

  • 6个北京市
  • 1个江苏省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
刘泽文
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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李志坚
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡光伟
供职机构：清华大学
研究主题：接触式开关 RF_MEMS开关 MEMS开关 机械可靠性 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯智昊
供职机构：南京电子器件研究所
研究主题：RF_MEMS开关 MEMS开关 毫米波 开关 射频微机电系统开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张忠惠
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：MEMS开关 氮氧化硅 PECVD 接触式开关 低应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雷啸锋
供职机构：清华大学
研究主题：开关 微机械开关 微机械 牺牲层 共面波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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