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国家科技重大专项(2008ZX01035)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：沈泫史峥更多>>
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相关领域：自然科学总论自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 2个电子电信
  • 2个自然科学总论
  • 1个电气工程
  • 1个自动化与计算...

主题

  • 2个电路
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传媒

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  • 1个浙江大学学报...
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地区

  • 2个浙江省
共 2 条 记 录，以下是 1-2
沈泫
供职机构：浙江大学
研究主题：切分 光学邻近校正 OPC 光刻工艺 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史峥
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题：光学邻近校正 集成电路 版图 光刻 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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