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国家自然科学基金(60778018)
作品数:
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相关作者:
王长涛
方亮
甘大春
刘凯鹏
罗先刚
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国家自然科学基金
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
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刘凯鹏
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 膜层 湿法腐蚀
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方亮
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:衍射 半导体激光器 半导体激光 微透镜阵列 面阵
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甘大春
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:照明系统 补偿装置 光束控制 均匀性 入射
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祁云飞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:二维光子晶体 光子晶体结构 工作波长 介质柱 截面尺寸
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