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国家科技重大专项(2009ZX02005-001)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：吴仪张磊刘效岩更多>>
相关机构：北京七星华创电子股份有限公司清华大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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机构

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  • 1个华中科技大学...
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资助

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传媒

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  • 1个高等学校化学...

地区

  • 3个北京市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
吴仪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张磊
供职机构：中国水利水电科学研究院
研究主题：混凝土 温控防裂 大体积混凝土 混凝土坝 防裂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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