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国家高技术研究发展计划(2006AA03z355)

作品数：4 被引量：25H指数：3
相关作者：胡松马平严伟陈旺富周绍林更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院乐山师范学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信更多>>

领域

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主题

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  • 6个矢量衍射
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机构

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资助

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传媒

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  • 2个压电与声光
  • 2个现代电子技术

地区

  • 7个四川省
  • 1个西藏
  • 1个广东省
共 9 条 记 录，以下是 1-9
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 光刻 工件台 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旺富
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张幼麟
供职机构：乐山师范学院
研究主题：LABVIEW 51单片机 片内集成 单片机 ARM微处理器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋文波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像系统 位相型 光刻 纳米光刻 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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