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国家自然科学基金(19775062)

作品数：2 被引量：8H指数：1
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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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王连卫
供职机构：华东师范大学
研究主题：微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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沈勤我
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
多新中
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 离子注入 硅 ALN薄膜 SOI材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱剑豪
供职机构：香港城市大学
研究主题：离子注入 表面改性 材料表面改性 放电 内表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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