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国家科技重大专项(2009zx02308)

作品数：6 被引量：9H指数：2
相关作者：刘玉岭高宝红刘金玉檀柏梅牛新环更多>>
相关机构：河北工业大学天津理工大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 14个电子电信
  • 10个金属学及工艺
  • 8个自动化与计算...
  • 7个一般工业技术
  • 6个化学工程
  • 5个电气工程
  • 5个环境科学与工...
  • 4个文化科学
  • 4个理学
  • 2个经济管理
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  • 2个生物学
  • 1个石油与天然气...
  • 1个冶金工程
  • 1个机械工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程
  • 1个医药卫生
  • 1个政治法律

主题

  • 14个电化学
  • 12个抛光
  • 12个化学机械抛光
  • 12个机械抛光
  • 11个CMP
  • 11个衬底
  • 9个有机物
  • 9个抛光液
  • 9个去除速率
  • 9个金刚石膜
  • 8个电极
  • 8个液晶
  • 8个抛光速率
  • 7个电化学氧化
  • 6个低K材料
  • 6个低K介质
  • 6个电路
  • 5个低K介质材料
  • 5个电池
  • 4个单晶

机构

  • 15个河北工业大学
  • 2个天津理工大学
  • 1个河北工学院
  • 1个天津大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个北京七星华创...

资助

  • 16个国家科技重大...
  • 15个国家自然科学...
  • 11个国家教育部博...
  • 8个天津市自然科...
  • 8个河北省自然科...
  • 6个国家中长期科...
  • 6个河北省高等学...
  • 6个河北省教育厅...
  • 4个河北省教育厅...
  • 3个博士后科研启...
  • 3个天津市重大科...
  • 3个天津市科技攻...
  • 2个河北省科技计...
  • 2个教育部重点实...
  • 2个天津市重点学...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个新疆维吾尔自...
  • 1个天津市科技计...
  • 1个天津市科技支...
  • 1个博士科研启动...

传媒

  • 14个半导体技术
  • 6个功能材料
  • 6个微纳电子技术
  • 5个Journa...
  • 5个微电子学
  • 5个第六届中国功...
  • 4个电镀与涂饰
  • 4个稀有金属
  • 4个人工晶体学报
  • 4个液晶与显示
  • 4个河北工业大学...
  • 3个稀有金属材料...
  • 3个天津科技
  • 3个硅酸盐学报
  • 3个微细加工技术
  • 3个纳米技术与精...
  • 3个电子设计工程
  • 2个半导体情报
  • 2个电子工艺技术
  • 2个中国表面工程

地区

  • 15个天津市
  • 1个北京市
共 16 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宝红
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金玉
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 蓝宝石衬底 CMP 后表面 电化学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海涛
供职机构：河北工业大学
研究主题：液晶屏 液晶 模式识别 图像处理 识别方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周强
供职机构：河北工业大学电气信息学院
研究主题：氧化液 BDD 金刚石膜电极 清洗方法 电化学氧化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈婷
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：表面粗糙度 化学机械抛光 粗糙度 蓝宝石衬底 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏恒
供职机构：河北工业大学
研究主题：粗糙度 去除速率 表面粗糙度 化学机械抛光 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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