您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(60976077)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：胡松徐锋罗正全周绍林更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院西南科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金博士科研启动基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

领域

  • 4个机械工程
  • 4个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 4个理学
  • 3个电气工程
  • 3个文化科学
  • 2个生物学
  • 2个一般工业技术
  • 1个经济管理
  • 1个动力工程及工...
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个核科学技术
  • 1个医药卫生
  • 1个自然科学总论

主题

  • 4个单幅
  • 4个电路控制
  • 4个调焦
  • 4个调焦系统
  • 4个信号
  • 4个掩模
  • 4个衍射
  • 4个噪声
  • 4个双光栅
  • 4个条纹
  • 4个投影光刻
  • 4个图像
  • 3个电机
  • 3个电子束
  • 3个投影光刻机
  • 3个图像处理
  • 2个单点
  • 2个等离子体
  • 2个等效
  • 2个电路

机构

  • 4个中国科学院
  • 2个中国科学院研...
  • 1个华南理工大学
  • 1个西南科技大学

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 3个国家高技术研...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个中国科学院西...
  • 2个四川省教育厅...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个四川省教育厅...
  • 1个广州市科技计...
  • 1个成都市科技攻...
  • 1个国防科工局核...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个四川省杰出青...
  • 1个中国科学院“...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中央高校基本...
  • 1个重庆市杰出青...

传媒

  • 4个微纳电子技术
  • 3个光学学报
  • 3个光子学报
  • 3个光电工程
  • 3个电子工业专用...
  • 3个微细加工技术
  • 2个制造技术与机...
  • 2个激光与光电子...
  • 2个中国激光
  • 2个四川大学学报...
  • 2个国外电子测量...
  • 2个第十二届全国...
  • 2个第十一届全国...
  • 2个第五届全国微...
  • 1个现代科学仪器
  • 1个红外与激光工...
  • 1个半导体技术
  • 1个制造业自动化
  • 1个物理学报
  • 1个电子技术应用

地区

  • 3个四川省
  • 1个广东省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
徐锋
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗正全
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0