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不二越机械工业株式会社

作品数：119 被引量：0H指数：0
相关机构：国立大学法人信州大学信越半导体股份有限公司学校法人金泽工业大学更多>>
相关领域：金属学及工艺医药卫生化学工程自动化与计算机技术更多>>

合作机构

文献类型

  • 119篇中文专利

领域

  • 17篇金属学及工艺
  • 3篇化学工程
  • 3篇医药卫生
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 49篇研磨
  • 49篇研磨装置
  • 45篇工件
  • 19篇抛光
  • 15篇制造装置
  • 14篇晶片
  • 14篇晶体
  • 12篇坩埚
  • 11篇抛光设备
  • 10篇研磨液
  • 9篇氧化镓
  • 9篇晶圆
  • 8篇修整
  • 8篇发热体
  • 7篇粘接
  • 6篇单晶
  • 6篇中板
  • 6篇环状
  • 5篇研磨设备
  • 5篇流体

机构

  • 119篇不二越机械工...
  • 18篇国立大学法人...
  • 17篇信越半导体股...
  • 4篇学校法人金泽...
  • 2篇诺维晶科股份...
  • 2篇不二见株式会...
  • 1篇长冈技术科学...
  • 1篇丰田自动车株...
  • 1篇信越半导体株...
  • 1篇国立大学法人...
  • 1篇国立研究开发...

年份

  • 4篇2024
  • 3篇2023
  • 10篇2022
  • 14篇2021
  • 4篇2020
  • 2篇2019
  • 8篇2018
  • 12篇2017
  • 3篇2016
  • 8篇2015
  • 6篇2014
  • 2篇2013
  • 5篇2012
  • 10篇2011
  • 8篇2010
  • 3篇2009
  • 4篇2008
  • 3篇2007
  • 2篇2006
  • 4篇2005
共 119 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
抛光工件的抛光设备和方法
一种工件抛光的方法能够降低抛光成本，以高抛光精度抛光工件表面，并且容易地处置使用过的抛光液体和使用过的清洗液体。该方法包括以下步骤：将工件压在抛光件上；输送抛光液体；和对于抛光件相对地移动工件。通过电气分解电解溶液而产生...
佐藤运海市川浩一郎西本吉伸中村由夫长谷川毅饭浜真澄
文献传递
抛光设备
上抛光板向下移动一直到面向下抛光板为止以便抛光工件。上抛光板连同第一弹性件、第二弹性件、外部件和连接件一起在一水平面中旋转。推压外部件或内部件向上的第一压力和推压外部件或内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和...
中岛诚中村由夫宫下忠一
文献传递
工件研磨装置
一种工件研磨装置包括：具有顶面的研磨板，研磨布贴附于该顶面，并且研磨板能够在水平面转动；设置于研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环，顶环能够对位于研磨板和顶环之间的承载板施压，承载板将工件保持在底面，以将工件压...
两角洋一小山晴道粕尾学和田昌树
文献传递
研磨装置
本发明提供一种研磨装置，其能够防止浆液的雾的飞散。研磨装置(10)具备：保持工件(20)的研磨头(18)；在表面上粘贴有研磨垫(16)的定盘(12)；将研磨用的浆液供给到研磨垫上的浆液供给部(24)；浆液接收件(26)，...
宫下忠一市川大造濑下清大坪正德
文献传递
研磨装置
本发明的研磨装置具备：平台，贴附有研磨布；研磨头，用以保持晶圆；槽体，用以储藏研磨剂；研磨剂供给机构，将储藏在槽体内的研磨剂供给至研磨布；废液承接器，回收自平台上流下的研磨剂；以及循环机构，被连接至废液承接器，将利用废液...
佐藤三千登上野淳一石井薫金井洋介中西勇矢
文献传递
工件研磨方法和工件研磨装置
本发明提供一种工件研磨方法和工件研磨装置。本发明的方法能够以高研磨效率研磨高硬度工件。该方法包括如下步骤：将工件的表面压在转动研磨板的研磨部上；以及在执行该加压步骤时供给研磨液。该方法的特征在于，将通过气体放电而已经被活...
澁谷和孝中村由夫
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研磨机和研磨工件的方法
本发明的研磨机可以改变施加于工件的压力,并且易于形成最佳研磨条件。研磨机包括:一压力容器,该压力容器可以升高和降低内部压力；一研磨板,该研磨板设置在压力容器中；一设置在研磨板上的加压板,该加压板将工件压在研磨板上；一驱动...
土肥俊郎
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双面研磨装置
一研磨晶片两面的双面研磨装置，其不仅能可靠地测量晶片外侧部分的厚度而且能测量其中心部分的厚度。该双面研磨装置包括：一下研磨板；一由框架保持的上研磨板；以及一具有一保持晶片的通孔的载体。供一激光束通过其中的一窗口部分形成在...
大西进丸田将史
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研磨装置
本发明提供一种研磨装置，其具备：两个以上的研磨头，用以保持晶片；可旋转的平台，贴附有用以研磨前述晶片的研磨布；平台驱动机构，使该平台旋转；以及，两个以上的晶片检测传感器，在研磨中检测前述晶片从前述研磨头露出的情况；所述研...
上野淳一佐藤三千登石井薫岸田敬实金井洋介中西勇矢
文献传递
金属氧化物单晶的制造装置和金属氧化物单晶的制造方法
提供金属氧化物单晶的制造装置和制造方法，在金属氧化物单晶的制造装置、特别是在氧化气氛下制造高熔点的金属氧化物单晶的金属氧化物单晶的制造装置中，在进行加种时，在种晶中可靠地产生结晶培育方向的温度差，可靠地进行加种。本发明的...
干川圭吾太子敏则小林拓实
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