上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
- 作品数：163 被引量：495H指数：10
- 相关作者：章吉良张明生沈修成沈民谊刘凯更多>>
- 相关机构：上海海洋大学工程学院吉林大学机械科学与工程学院山东科技大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 基于DSP的悬浮转子微陀螺数字幅度解调被引量：1
- 2007年
- 在悬浮转子微陀螺中输出的角度检测信号为一经过幅度调制的调幅波形,为了使用数字信号处理器(DSP)读取调制波形中的低频有用信号,需要开发一种数字解调系统。介绍了一种能应用于悬浮转子微陀螺信号检测的基于DSP的数字滤波自相关算法及其实现,使用D/A和异步串行口将解调所得信号输出。使用经低频调制的20 kHz载波信号进行了实验。实验结果表明:该系统可响应的低频角度变化为25Hz,能够满足悬浮转子陀螺信号检测和后续控制的要求。
- 周海军黄晓刚张卫平陈文元
- 关键词：数字信号处理器微陀螺
- 电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计被引量：9
- 2004年
- 提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RFMEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成.由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗.对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明,含有加强筋结构的开关模型,在12μN力的作用下,可以使悬梁两端产生20μm的位移,此时系统的固有振动频率约为5.7kHz.
- 张永华丁桂甫赵小林马骏蔡炳初
- 关键词：射频微电子机械系统模型分析
- 硅薄膜太阳能电池背部反射结构设计被引量：6
- 2009年
- 设计了一种新型叠层光栅结构的晶体硅薄膜太阳能电池底部反射器，它由分布布拉格反射器（Distributed Bragg Reflectors，DBR）和衍射光栅两部分组成。利用严格耦合波分析（Rigorous Coupled Wave Analysis，RCWA）方法和模式传输线理论（Modal Transmission Line，MTL），对DBR和光栅进行优化设计，使该叠层光栅结构在800～1100nm波长范围内能高效反射入射光并得到大倾斜角的反射光，有效延长光子在电池体区的传播路径，使其被充分吸收。结果表明，四层Si／SiO2DBR的反射率可达99．95％，零级衍射序被有效抑制，并得到具有较大倾斜角的±1级衍射序，太阳能电池的捕光能力大大提高。
- 黎慧华王庆康
- 关键词：光栅分布布拉格反射器
- Airy传递矩阵法与偏压下多势垒结构的准束缚能级被引量：9
- 2005年
- 使用Airy函数和传递矩阵方法精确计算了一维定态薛定谔方程 ,并推广到多势垒结构 ,求解出有 无偏压作用的 2 ,3势垒结构的准束缚能级 ,进一步研究了有 无偏压作用的 2 ,3势垒结构的准束缚能级与有效质量和外加电压的关系 ,并对结论的正确性进行了验证 .另外 ,文中还指出了有些文章中关于Airy传递矩阵法与计算偏压下多势垒结构的准束缚能级的错误陈述。
- 王洪梅张亚非
- 关键词：多势垒结构AIRY函数透射系数载流子
- FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究
- 研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz～40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示).当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随...
- 周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民
- 关键词：巨磁阻抗效应磁各向异性磁场
- 文献传递
- 一种基于蚁群的新型按能需求路由算法研究
- 2017年
- 提出了一种基于蚁群的新型按能需求路由算法(ARADE),针对移动网络节点剩余能量分布不均而导致网络生命周期短和蚁群算法收敛速度慢这两种缺陷做了相应的改进。存有路由信息的反向信息素表的引入简化了路由请求数据包的数据结构,将节点剩余能量、路径消耗能量以及跳数通过相应的影响因子归一化成一个参数作为路由性能评价值,以此来达到均衡整个网络节点剩余能量的目的。此外,迭代过程中信息素的最大值Γ_(high)可以当作参数进行一次自我迭代,使得当前节点维护在反向信息素表中的信息素值得到正反馈变化,从而加快整个算法的收敛速度。整个实验仿真是在NS-2平台上进行,随着数据包的传输速率的增加,它的生命周期、平均能量消耗和端到端延迟都会优于AODV。
- 张滨烽胡寿伟陈佳品
- 关键词：移动自组织网络蚁群优化算法路由信息素
- FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究
- 研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应（其大小用磁阻抗比表示）。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随...
- 周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民
- 关键词：巨磁阻抗效应磁各向异性
- 文献传递
- 一种基于MEMS技术的可变光衰减器被引量：6
- 2005年
- 介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。分析了偏移量与衰减量的关系,通过MEMS微细加工技术实现了器件的制作和封装,介绍了加工及装配流程。并进行了性能测试,结果表明,新型可变光衰减器的插入损耗小于1dB,动态范围约35dB,工作电压小于5V,偏振相关损耗小于0.1dB,有望为光纤网络提供一种低成本、高性能的光通信器件。
- 谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 关键词：光纤网络可变光衰减器MEMS微机械
- 碳纤维无催化剂法制备β-SiC纳米晶须被引量：9
- 2005年
- 介绍了使用碳纤维为固相碳源,无催化剂加入制备β-SiC纳米晶须的一种新方法. 制备了直径为10-40nm,长度为几个微米的纯度较高的β-SiC纳米晶须.讨论了这个制备方法的特点,并比较了几种不同制备方法的优缺点.同时分析了β-SiC纳米晶须的显微组织并探讨了其生长机理.研究表明,较高的生长温度、SiO和CO的局部过饱和蒸汽压是此方法能够大量制备β-SiC纳米晶须的关键因素.
- 吴艳军张亚非杨忠学吴建生
- 关键词：纳米电子材料
- 微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究被引量：4
- 2003年
- 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190GPa和87MPa。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合。
- 陈吉安杨春生周勇丁桂甫王莉王明军张亚民张泰华
- 关键词：MEMS弹性模量残余应力
