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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室

作品数：163 被引量：495H指数：10
相关作者：章吉良张明生沈修成沈民谊刘凯更多>>
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地区

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共 28 条 记 录，以下是 1-10
章吉良
作品数：23被引量：62H指数：5
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：偏置 LIGA技术 磁头 电磁型微马达 溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张明生
作品数：18被引量：37H指数：5
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：电磁驱动 微光机电系统 MEMS 微机械 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈修成
作品数：12被引量：30H指数：3
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：MEMS 微针 金属 透皮给药 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈民谊
作品数：8被引量：22H指数：3
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：共面波导 蝶形天线 插入损耗 MEMS技术 感性耦合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘凯
作品数：6被引量：16H指数：3
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：微陀螺 微机电系统 磁悬浮 MEMS 分子马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴斌
作品数：5被引量：23H指数：2
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：波导型 光子晶体 回馈 多路 滤波器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何淼
作品数：4被引量：5H指数：1
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：磁悬浮 微陀螺 转子 微细加工 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢晓强
作品数：4被引量：22H指数：3
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：微机械 可变光衰减器 位错型 全光网 电磁驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石磊
作品数：3被引量：4H指数：2
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：力学性能 平面微弹簧 MEMS器件 MEMS UV-LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周海军
作品数：3被引量：6H指数：2
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：DSP 微陀螺 数字信号处理器 测控系统 转子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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