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信息产业部电子第二十六研究所

作品数：1 被引量：0H指数：0
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

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文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压电
  • 1篇压电材料
  • 1篇石英
  • 1篇微机械
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇惯性器件

机构

  • 1篇信息产业部电...

作者

  • 1篇张挺
  • 1篇吕志清
  • 1篇林日乐
  • 1篇张巧云

传媒

  • 1篇第五届全国微...

年份

  • 1篇2001
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排序方式：
石英微机械惯性器件及其应用
石英微机械惯性器件(陀螺、加速度计、惯性测量组合)有广泛的应用领域和很好的发展前景.文章首先叙述了石英微机械振动陀螺和石英微机械加速度计的工作原理、结构、加工工艺和主要性能,简要介绍了它们的应用.
吕志清张巧云林日乐张挺
关键词：石英微机械惯性器件加速度计压电材料微细加工
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