苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室
- 作品数：10 被引量：13H指数：2
- 相关领域：理学一般工业技术电气工程化学工程更多>>
- D5的ECR放电等离子体质谱研究
- <正>~~
- 张海燕叶超宁兆元
- 文献传递
- 电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响
- 近年来,由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用,人们对电负性气体的测量愈发重视,并研究了多种电负性气体的性质。本文利用朗缪尔静电探针和悬浮型微波共振探针测量了单射频40.68MHz等离子体,...
- 洪布双苑涛唐中华徐东升虞一青辛煜
- 关键词：电子密度电子温度
- ECR等离子体气相沉积装置磁场形态的计算(英文)
- 1996年
- 本文介绍了微波电子回旋共振等离子体气相沉积装置的磁场设计原理和计算方法,给出了几种电流强度、线圈间距等主要参量下的磁场形态.
- 宁兆元叶超汪浩沈明荣
- 关键词：等离子体ECR磁场电流强度
- 氟基等离子体诊断以及在多晶硅太阳能电池制绒中应用研究
- 强电负性的氟基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术,然而氟基等离子体特性以及多晶硅的干法制绒机制机制仍不清楚。本文利用悬浮性的微波共振探针进行了氟基射频等离子体电子密度的测量,并在氟-氧基等离子体中进...
- 邹帅辛煜唐中华吉亮亮苏晓东
- 关键词：电子密度多晶硅反射率少子寿命
- 文献传递
- 晶硅异质结电池金属化技术研究
- ＜正＞～～
- 曾玉莲邹帅苏晓东
- 微波ECR-CVD低温SiN_x薄膜的氢含量分析被引量：2
- 1998年
- 利用红外光谱技术研究了微波电子回旋共振( ECR)等离子体化学气相沉积 ( CVD)法在低温条件下制备的 Si Nx 膜的键结构和氢含量 ,分析了微波功率和后处理条件对膜含氢量的影响及其成因 ,提出适当提高微波功率是降低微波 ECR- CVD低温 Si Nx 膜中氢含量的可能途径。
- 叶超宁兆元汪浩沈明荣甘肇强
- 关键词：氢含量微波ECR-CVD氮化硅
- 永磁微波ECR等离子体CVD低温淀积SiNx薄膜被引量：4
- 1996年
- 发展了永磁微波ＥＣＲ等离子体ＣＶＤ低温淀积氮化硅薄膜的技术，在低于６０℃的基片温度下。
- 叶超宁兆元金宗明薛青沈明荣汪浩
- 关键词：氮化硅
- 液相法制备掺氮碳膜的实验研究被引量：6
- 1999年
- 在低温和常压下，通过电解甲醇和氨水混合溶液，在硅基片上进行沉积掺氮碳膜的尝试，得到了含氮8％的类金刚石薄膜。通过拉曼光谱和X光电子能谱对样品的测试表明：碳和氨在薄膜中是以SP2和SP3进行化学成键的。本文还提出了液相掺氮碳膜生长的化学机制。
- 沈明荣许杞安甘肇强
- 关键词：液相法
- 电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响
- 近年来,由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用,人们对电负性气体的测量愈发重视,并研究了多种电负性气体的性质。本文利用朗缪尔静电探针和悬浮型微波共振探针测量了单射频40.68MHz等离子体,...
- 洪布双苑涛唐中华徐东升虞一青辛煜
- 关键词：电子密度电子温度
- 文献传递
- 非对称轴向二极场下等离子体特性的研究被引量：2
- 1997年
- 对非对称轴向二极场下等离子体的特性进行了分析，在这种微波从弱场向强场入射的情况下，可以形成高密度等离子体，其原因为：在低气压下，L波经过ω＝ωpe（电子等离子体频率）层时，转变为R波，然后在电子回旋共振（ECR）区被共振吸收；在高气压下，微波窗口附近的碰撞吸收和ECR区的共振吸收并存的结果。这对于进一步发展永磁微波ECR等离子体薄膜沉积技术以及探讨在微波ECR等离子体环境下的成膜机理是有利的。
- 叶超宁兆元
- 关键词：等离子体电子回旋共振
