东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所
- 作品数：15 被引量：4H指数：1
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- EB-PVD制备YSZ涂层的热震性研究被引量：4
- 2020年
- 用电子束蒸发镀膜的技术制备一系列不同微观结构的YSZ涂层,通过对涂层进行热震实验,测试50次热循环,通过SEM、XRD对涂层样品微观结构进行表征。通过实验和表征结果发现制备束流在350mA的情况下YSZ涂层样品的热震性能最好。对涂层失效机理进行讨论得出,涂层表面过于致密阻碍热应力的缓解,表面过于疏松加速氧气的渗入,加速TGO的生长导致涂层剥落失效。
- 李国浩巴德纯王栋陈红斌张洪琦杜广煜
- 关键词：电子束物理气相沉积热障涂层热震性能
- 面向应用的真空干泵模块化与集成化发展趋势
- 在国家战略性新兴产业和创新驱动发展政策不断完善的带动下,半导体、电子材料、集成电路等产业保持快速增长的趋势。真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备,已然成为IC装备产业中核心部件。以集成电路产业为例,干泵作为前道序生产线...
- 刘坤巴德纯张振厚王光玉
- 关键词：模块化集成化
- 文献传递
- 面向应用的真空干泵模块化与集成化发展趋势
- 在国家战略性新兴产业和创新驱动发展政策不断完善的带动下，半导体、电子材料、集成电路等产业保持快速增长的趋势。真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备，已然成为IC装备产业中核心部件。以集成电路产业为例，干泵作为前道序生产线...
- 刘坤巴德纯张振厚王光玉
- 关键词：模块化集成化
- 涡旋干式真空泵内气体流动的数值模拟研究
- 涡旋干式真空泵具有洁净无油、体积小、工作压力范围宽、振动小、噪声小等优点，被广泛应用于半导体制造、生物制药等需求清洁真空的行业。本文基于 CFD 方法和动网格技 术建立了涡旋干式真空泵内瞬态流动的仿真模型，并对粘滞流态下...
- 张英莉李阳车书刚巴德纯岳向吉
- 关键词：动网格
- 基于磁控溅射方法的PDMS微芯片表面改性的实验研究
- 聚二甲基硅氧烷(PDMS)具有透光性优良、化学性质稳定、加工简便、价格低廉以及生物兼容性等特点,是目前微流控芯片制备中常见的聚合物有机材料[1-2]。它的高疏水性限制了其在微流控技术领域的进一步应用,因此对PDMS 的表...
- 陈树雷刘坤宁英超蔺增巴要帅巴德纯
- 关键词：表面改性磁控溅射二氧化硅
- 基于CFD的真空系统抽气过程数值模拟
- 真空科学与技术广泛应用于冶金、电子和航空航天等重要领域.一般真空抽气系统 的组成和抽气过程较为复杂，难以对其进行准确的计算和预测.本文基于计算流体力学(CFD)方法，首先针对一个典型真空系统进行建模并模拟计算了从大气压至...
- 车书刚夏云龙张英莉巴德纯岳向吉
- 关键词：真空工程数值模拟
- 现代真空获得设备的最新进展
- 近年来,受半导体制造、液晶注入、太阳能光伏、电子器件、薄膜等新兴行业和化工、制药等传统行业的带动,真空应用的领域在不断地扩大,抽气工艺也越来越复杂,对真空泵的要求也越来越高。作为核心装备之一,真空泵的研制和生产越来越受到...
- 刘坤巴德纯张振厚王光玉岳向吉杨乃恒
- 微矩形通道中弹状流的生成与输运特性实验研究
- 液滴微流控技术是微流控技术的一个重要组成内容,也是目前研究最为广泛的微流控技术之一[1-3].弹状流的生成与输运表现出与其他流型不同的特性,备受关注,在微给药、微分离、微浓缩等研究领域具有广泛的应用前景.本文通过粒子图像...
- 陈树雷刘坤宁英超杜广煜谢元华巴德纯
- 关键词：微流控两相流MICRO-PIV
- 多物理场耦合运转态真空干泵设计技术
- 干式真空泵为IC 装备、薄膜电子、制药化工、科研仪器等行业提供洁净的真空环境，其内部稀薄气体传输过程极其复杂。研究具有高可靠性的干泵设计理论，是解决困扰国内真空泵制造业的巨大难题。本文从干泵转子型线设计、稀薄气体输送、多...
- 刘坤巴德纯张振厚王光玉
- 关键词：型线设计
- 面向应用的真空干泵模块化与集成化发展趋势
- 在国家战略性新兴产业和创新驱动发展政策不断完善的带动下,半导体、电子材料、集成电路等产业保持快速增长的趋势。真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备,已然成为IC装备产业中核心部件。以集成电路产业为例,干泵作为前道序生产线...
- 刘坤巴德纯张振厚王光玉
- 关键词：模块化集成化
