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东京电子有限公司

作品数：13 被引量：0H指数：0
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合作机构

机构类别

  • 1个企业机构

主题

  • 1个单片
  • 1个等离子体
  • 1个地电
  • 1个电感
  • 1个淀积
  • 1个运载
  • 1个运载器
  • 1个真空室
  • 1个支座
  • 1个室壁
  • 1个涂敷
  • 1个能量源
  • 1个屏蔽
  • 1个气相淀积
  • 1个汽相沉积
  • 1个外面
  • 1个校准器
  • 1个离子
  • 1个离子化
  • 1个晶片
共 1 条 记 录，以下是 1-1
东京电子亚利桑那公司
研究主题：离子化 屏蔽 窗孔 稠密等离子体 气相淀积
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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