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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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宋志棠
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供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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赵建龙
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研究主题:微流控芯片 芯片 微管道 基因芯片 液滴
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王跃林
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研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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谢晓明
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供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 SQUID 磁传感器 读出电路 超导
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李昕欣
作品数:535
被引量:376
H指数:10
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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曹俊诚
作品数:371
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研究主题:衬底 缺陷层 键合 压电薄膜 谐振器
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李铁
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研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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金庆辉
作品数:335
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供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:微流控芯片 纳米金 微流控芯片电泳 芯片 石墨烯
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孙晓玮
作品数:329
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供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:毫米波 低噪声放大器 谐波抑制 本振信号 毫米波图像
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