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同济大学理学院精密光学工程技术研究所
作品数:
168
被引量:564
H指数:12
相关作者:
秦树基
王洪昌
徐敬
曹鸿
付联效
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秦树基
作品数:65
被引量:240
H指数:10
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:多层膜 软X射线 磁控溅射 X射线 X射线衍射仪
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
王洪昌
作品数:50
被引量:130
H指数:8
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:多层膜 软X射线 反射率 磁控溅射 极紫外
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徐敬
作品数:31
被引量:158
H指数:8
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:原子力显微镜 方解石 磁控溅射 反射率 碳酸钙
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研究领域
曹鸿
作品数:29
被引量:69
H指数:6
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:薄膜光学 脱膜剂 光栅 导模共振 窄带
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付联效
作品数:22
被引量:50
H指数:4
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:脱膜剂 薄膜光学 窄带 二次曲面 多层膜
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顾春时
作品数:15
被引量:54
H指数:4
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:X射线 多层膜 空间分辨率 磁控溅射 表面形貌
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郑秀萍
作品数:11
被引量:22
H指数:3
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:薄膜光学 窄带 多层膜 AL 光学薄膜
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郑春兰
作品数:7
被引量:34
H指数:4
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:CR 原子光刻 激光驻波场 原子束 激光准直
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研究领域
白亮
作品数:6
被引量:19
H指数:3
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:反射率 磁控溅射 多层膜 高反射率 SIC
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研究领域
唐平林
作品数:5
被引量:9
H指数:2
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:掺铝氧化锌 亚微米 激光干涉法 湿法刻蚀 聚酰亚胺
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