您的位置： 专家智库 > >

北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室

作品数：98 被引量：209H指数：8
相关作者：贾玉斌张威袁勇赵前程于民更多>>
相关机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室天津大学精密仪器与光电子工程学院华南理工大学电子与信息学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>

合作机构

领域

  • 23个电子电信
  • 13个自动化与计算...
  • 7个机械工程
  • 6个电气工程
  • 5个航空宇航科学...
  • 5个一般工业技术
  • 3个理学
  • 2个金属学及工艺
  • 1个经济管理
  • 1个医药卫生
  • 1个文化科学
  • 1个兵器科学与技...

主题

  • 12个MEMS
  • 9个英文
  • 8个硅
  • 7个微机电系统
  • 7个刻蚀
  • 7个机电系统
  • 7个电系统
  • 6个陀螺
  • 6个键合
  • 6个感器
  • 6个衬底
  • 6个传感
  • 6个传感器
  • 5个谐振器
  • 4个电极
  • 4个电容
  • 4个陀螺仪
  • 4个寄生电容
  • 4个封装
  • 4个MEMS陀螺

机构

  • 39个北京大学
  • 2个中国科学院
  • 1个北京理工大学

资助

  • 17个国家自然科学...
  • 7个国家高技术研...
  • 5个国家重点基础...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个国家重点实验...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国家技术创新...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个武器装备预研...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个苏州市科技发...
  • 1个北京市属高等...
  • 1个公益性行业(...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 10个传感技术学报
  • 6个Journa...
  • 6个功能材料与器...
  • 6个微纳电子技术
  • 5个纳米技术与精...
  • 5个中国微米纳米...
  • 3个北京大学学报...
  • 2个光学精密工程
  • 2个物理学报
  • 2个测试技术学报
  • 2个信息与电子工...
  • 2个传感器与微系...
  • 2个太赫兹科学与...
  • 2个中国微米/纳...
  • 1个半导体技术
  • 1个科学通报
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个计算机研究与...
  • 1个电子学报
  • 1个光学技术

地区

  • 39个北京市
共 39 条 记 录，以下是 1-10
贾玉斌
作品数：29被引量：74H指数：6
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：加速度计 英文 电极 光开关 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张威
作品数：13被引量：114H指数：3
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：MEMS 原电池 微机电系统 微执行器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁勇
作品数：9被引量：11H指数：2
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：面向对象 逆向工程 JAVA语言 再工程 英文
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于民
作品数：8被引量：11H指数：2
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：硅 分子动力学 离子注入 探测器 串扰
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵前程
作品数：8被引量：17H指数：2
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：角振动陀螺仪 微机械陀螺 非线性 陀螺仪 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王颖
作品数：6被引量：14H指数：2
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：共晶键合 微电子 自对准 金 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周吉龙
作品数：5被引量：7H指数：1
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：MEMS 真空封装 咬合 高深宽比 单晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕佳楠
作品数：4被引量：2H指数：1
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：氮化镓 干法刻蚀 氮化镓材料 表面等离子体激元 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲁庆
作品数：3被引量：12H指数：1
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：超深亚微米 辐照特性 抗辐射加固 金属-氧化物-半导体器件 总剂量效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王婧
作品数：2被引量：4H指数：2
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：发电机 过滤器 多表连接 微型发电机 驻极体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0