您的位置： 专家智库 > >

中国科学院微电子中心

作品数：45 被引量：54H指数：5
相关作者：刘明姜明哲李素杰张建宏李友更多>>
相关机构：山东大学北京大学中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程核科学技术更多>>

合作机构

领域

  • 34个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 3个机械工程
  • 2个理学
  • 1个文化科学

主题

  • 11个电路
  • 9个集成电路
  • 6个电子束
  • 6个电子束曝光
  • 5个微细
  • 5个微细加工
  • 5个抗蚀剂
  • 4个电路结构
  • 4个ALGAN/...
  • 4个ALGAN/...
  • 4个HEMT
  • 3个电路结构设计
  • 3个电子束曝光机
  • 3个氧化层
  • 3个异质结
  • 3个异质结器件
  • 3个增强型
  • 3个曝光机
  • 3个晶粒
  • 3个刻蚀

机构

  • 38个中国科学院微...

传媒

  • 12个第十一届全国...
  • 9个第十二届全国...
  • 6个第十二届全国...
  • 5个微电子学
  • 3个第七届全国L...
  • 2个Journa...
  • 1个光电子技术与...
  • 1个电子技术应用
  • 1个科技开发动态
  • 1个计算机辅助设...
  • 1个中国科学院第...
  • 1个中国真空学会...

地区

  • 38个北京市
共 38 条 记 录，以下是 1-10
刘明
作品数：8被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束 电子束曝光 集成电路 电子束曝光机 抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜明哲
作品数：5被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：专用集成电路 大规模集成电路 LCD显示器 变换器 控制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李素杰
作品数：4被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：专用集成电路 大规模集成电路 变换器 控制器 电路结构设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李友
作品数：3被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：抗蚀剂 微细加工 电子束曝光 GDS CIF格式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建宏
作品数：3被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束曝光 电子束曝光机 抗蚀剂 微细加工 MONTE_CARLO方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐秋霞
作品数：2被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：大晶粒 超薄氧化层 场效应器件 氧化层 CMOS电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
作品数：2被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：移相掩模 移相 线条 电子束曝光机 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏珂
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：X光图像 编码器 高能 高分辨率 孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟贵昌
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电路结构 实用化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王宗英
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：LED芯片 GAN 干法刻蚀 光输出
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0