您的位置： 专家智库 > >

刘德利

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 2篇镀膜
  • 2篇真空管道
  • 2篇真空系统
  • 2篇拾取
  • 2篇腔面
  • 2篇限位
  • 2篇小车
  • 2篇芯片
  • 2篇螺旋槽
  • 2篇解理
  • 2篇可旋转
  • 2篇互联系统
  • 2篇激光
  • 2篇激光器
  • 2篇交汇
  • 2篇高真空
  • 2篇高真空系统
  • 2篇复数
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体芯片

机构

  • 6篇中国科学院

作者

  • 6篇刘德利
  • 6篇张宝顺
  • 4篇李智
  • 4篇张永红
  • 4篇王荣新
  • 2篇杨辉
  • 2篇曾中明
  • 2篇冯美鑫
  • 2篇吴燕华

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
全选 清除 导出
排序方式：
用于超高真空系统的样品拾放装置
本发明公开了一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：共圆周设置的复数卡盘片；以及，螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。其中所述螺旋伸缩机构包括：一字槽限位盘，包含复数一字限...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
文献传递
真空解理系统及解理半导体芯片的方法
本发明提供一种真空解理系统，包括解理装置，其包括第一进样台及对应于所述第一进样台设置的劈刀，用于半导体芯片的输送及解理成巴条；设有第二进样台的陪片输送装置，用于往所述巴条之间插入陪片；以及，设有巴条盒的采样装置，所述采样...
吴燕华刘德利冯美鑫曾中明张宝顺杨辉
文献传递
应用于超高真空环境的样品传输系统及方法
本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室，所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道，并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
文献传递
用于超高真空系统的样品拾放装置
本发明公开了一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：共圆周设置的复数卡盘片；以及，螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。其中所述螺旋伸缩机构包括：一字槽限位盘，包含复数一字限...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
文献传递
应用于超高真空环境的样品传输系统及方法
本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室，所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道，并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
文献传递
真空解理系统及解理半导体芯片的方法
本发明提供一种真空解理系统，包括解理装置，其包括第一进样台及对应于所述第一进样台设置的劈刀，用于半导体芯片的输送及解理成巴条；设有第二进样台的陪片输送装置，用于往所述巴条之间插入陪片；以及，设有巴条盒的采样装置，所述采样...
吴燕华刘德利冯美鑫曾中明张宝顺杨辉
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0