刘洁丹
- 作品数：7 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：上海市科委科技攻关项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
- 2012年
- 介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性。通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制作出不同结构尺寸的腔体。同时,结合不同器件结构设计的需求,缝合微型释放窗口并进行后续工艺制作及最终可动结构释放。该技术采用微创手术式单硅片单面体硅工艺替代传统的表面微机械工艺,制作工艺简单,既具有单硅片单面加工的优势又便于与IC工艺兼容。文章详细讲述了微创手术式三维微机械结构的成型机理和工艺流程,并针对其关键技术进行了系统的分析,取得了令人满意的结果。
- 王家畴刘洁丹李昕欣
- 关键词：MEMS
- 适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制备方法
- 本发明提供一种适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制备方法，所述单硅片微流量传感器包括一单晶硅基片、二压力传感器和具有出/入通口的微流体沟道，本发明采用单硅片单面体硅微机械加工方法，在单晶硅基片内部制作所述微流体沟道...
- 王家畴李昕欣刘洁丹
- 文献传递
- 适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制作方法
- 本发明提供一种适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制作方法，所述单硅片微流量传感器包括一单晶硅基片、二压力传感器和具有出/入通口的微流体沟道，本发明采用单硅片单面体硅微机械加工方法，在单晶硅基片内部制作所述微流体沟道...
- 李昕欣王家畴刘洁丹
- 文献传递
- 适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制作方法
- 本发明提供一种适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制作方法，所述单硅片微流量传感器包括一单晶硅基片、二压力传感器和具有出/入通口的微流体沟道，本发明采用单硅片单面体硅微机械加工方法，在单晶硅基片内部制作所述微流体沟道...
- 李昕欣王家畴刘洁丹
- 文献传递
- 单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的研究
- 流量一直是生产和科研领域重要的测量参数,它的测量对流体系统的控制有着重要的意义。随着微机械加工工艺的进步,微型流量传感器的发展也受到越来越多的关注。它们尺寸小、功耗低,并且可以精确测得非常微小的流速(微升/分钟)。 流量...
- 刘洁丹
- 关键词：压阻
- 文献传递
- 适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制备方法
- 本发明提供一种适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制备方法，所述单硅片微流量传感器包括一单晶硅基片、二压力传感器和具有出/入通口的微流体沟道，本发明采用单硅片单面体硅微机械加工方法，在单晶硅基片内部制作所述微流体沟道...
- 王家畴李昕欣刘洁丹
- 文献传递
- 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
- 介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工-(MISSM)技术.该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性,通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构尺寸的轮廓,进而实现在单晶硅片内部选择性腐蚀出...
- 王家畴刘洁丹李昕欣
- 关键词：传感器腔体结构
- 文献传递
