夏诗怡
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：浙江农林大学信息工程学院更多>>
- 发文基金：浙江省重大科技专项基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于Windows Mobile的半导体CVD监控系统的设计与实现
- 2011年
- CVD(化学气相沉积)镀膜是半导体生产的关键步骤,沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要。本文根据CVD生产的需求,以Visual C++2005为开发平台,在Windows Mobile平台实现了晶圆化学气相沉积工艺参数的无线实时监控管理,其无线监控特性使操作者避免了现场的有毒气体吸入。
- 刘颖厉鲁卫夏诗怡
- 关键词：化学气相沉积WINDOWSMOBILE
- 半导体CVD真空镀膜监控系统的设计被引量：1
- 2012年
- 为了满足半导体产业发展的需求,本文介绍了一套基于工业PC和PLC的真空设备远程监控系统。内容包括CVD真空镀膜监控系统的工艺,结构以及工作原理,并对该控制系统的软件功能进行了描述。对该系统的监控效果进行了大量的测试。试验结果表明,人机交互性良好,性能稳定,可以精确的远程监控反应过程,并对各个被控量的信息进行实时存储、分析。有效地对现场设备进行管理,保证了系统的准确运行,提高了效率。
- 葛品森刘颖夏诗怡
- 关键词：监控系统工业控制计算机PLC
