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厉鲁卫
作品数:
1
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供职机构:
浙江农林大学信息工程学院
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发文基金:
浙江省重大科技专项基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘颖
浙江农林大学信息工程学院
夏诗怡
浙江农林大学信息工程学院
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机构
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浙江农林大学
作者
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夏诗怡
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刘颖
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厉鲁卫
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科技信息
年份
1篇
2011
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基于Windows Mobile的半导体CVD监控系统的设计与实现
2011年
CVD(化学气相沉积)镀膜是半导体生产的关键步骤,沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要。本文根据CVD生产的需求,以Visual C++2005为开发平台,在Windows Mobile平台实现了晶圆化学气相沉积工艺参数的无线实时监控管理,其无线监控特性使操作者避免了现场的有毒气体吸入。
刘颖
厉鲁卫
夏诗怡
关键词:
化学气相沉积
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