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厉鲁卫

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江农林大学信息工程学院更多>>
发文基金：浙江省重大科技专项基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇气相沉积
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇半导体
  • 1篇WINDOW...
  • 1篇CVD
  • 1篇MOBILE
  • 1篇WINDOW...

机构

  • 1篇浙江农林大学

作者

  • 1篇夏诗怡
  • 1篇刘颖
  • 1篇厉鲁卫

传媒

  • 1篇科技信息

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于Windows Mobile的半导体CVD监控系统的设计与实现
2011年
CVD(化学气相沉积)镀膜是半导体生产的关键步骤,沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要。本文根据CVD生产的需求,以Visual C++2005为开发平台,在Windows Mobile平台实现了晶圆化学气相沉积工艺参数的无线实时监控管理,其无线监控特性使操作者避免了现场的有毒气体吸入。
刘颖厉鲁卫夏诗怡
关键词：化学气相沉积WINDOWSMOBILE
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共1页<1>
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