李会
- 作品数：2 被引量：14H指数：1
- 供职机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院安徽光学精密机械研究所所长基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究被引量：14
- 2009年
- 针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率35％，分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大，并提出了相应改进办法。
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- 关键词：准分子激光磁开关可控硅磁脉冲压缩
- 实用型放电泵浦XeF(B-X)准分子激光器
- 2011年
- 研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1～80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm。激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中。
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- 关键词：准分子激光器XEF开关电源印刷电路板
