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欧文

作品数：55 被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 40篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 5篇会议论文

领域

  • 15篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 13篇刻蚀
  • 13篇红外
  • 9篇悬臂
  • 9篇悬臂梁
  • 9篇衬底
  • 7篇面阵
  • 7篇焦平面
  • 7篇焦平面阵列
  • 6篇透镜
  • 5篇微透镜
  • 5篇红外吸收
  • 4篇导电
  • 4篇导电材料
  • 4篇制作方法
  • 4篇硅片
  • 4篇红外焦平面
  • 4篇红外焦平面阵...
  • 4篇半导体
  • 4篇硅
  • 4篇传感

机构

  • 55篇中国科学院微...
  • 6篇中国科学院大...
  • 2篇中国科学院
  • 1篇清华大学
  • 1篇华进半导体封...
  • 1篇江苏物联网研...

作者

  • 55篇欧文
  • 17篇欧毅
  • 16篇陈大鹏
  • 9篇钱鹤
  • 8篇李志刚
  • 7篇刘战峰
  • 7篇闫建华
  • 6篇蒋文静
  • 4篇叶甜春
  • 4篇赵超
  • 3篇尚海平
  • 3篇曹振亚
  • 3篇王润梅
  • 3篇王新柱
  • 3篇刘训春
  • 3篇傅剑宇
  • 3篇申作成
  • 2篇胡建东
  • 2篇赵玉印
  • 2篇刘宇

传媒

  • 2篇信息技术与网...
  • 2篇第十二届全国...
  • 2篇第十二届全国...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇光子学报
  • 1篇微电子学与计...
  • 1篇固体电子学研...
  • 1篇西安电子科技...
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 3篇2019
  • 5篇2018
  • 3篇2017
  • 3篇2016
  • 7篇2015
  • 2篇2014
  • 5篇2013
  • 9篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2005
  • 1篇2004
  • 4篇2003
  • 2篇2002
  • 2篇2001
  • 1篇1998
  • 1篇1997
共 55 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于红外气体传感器的水果成熟度检测系统
本发明涉及一种基于红外气体传感器的水果成熟度检测系统，其包括水果气体收集装置以及气体检测装置；气体检测装置包括气体检测密封壳体，气体检测密封壳体内设有红外气体传感器；红外气体传感器与基板上的中央处理器电连接，中央处理器与...
毛海央胡建东陈媛婧王玲欧文
文献传递
红外焦平面阵列器件及其制作方法
本发明提供一种红外焦平面阵列器件，包括：衬底；空腔，位于所述衬底内；红外传感层，悬空于所述空腔的上方；悬臂梁，悬空于所述衬底上方，一端与衬底固定连接，另一端与红外传感层固定连接；红外反射层，遮盖于所述红外传感层的上方并且...
欧文刘战峰
KrF准分子激光移相光刻在HEMT栅加工中的应用
1998年
将KrF准分子激光无铬接触式移相光刻应用于深亚微米HEMT栅图形加工，自行设计、组装了一套实验系统，很好地解决了这一器件制作的关键工艺问题。分别采用石英版移相和衬底移相方式，可重复可靠地得到剖面陡直的（0．30—0．35）μm和（0．2—0．25）μm胶阴线条，这一工艺技术完全与现有器件工艺技术兼容，为HEMT深亚微米栅加工提供了一个新的可供选择的方法，文中还从计算机模拟角度对上述两种移相光刻方式作了分析。
钱鹤刘训春王润梅欧文张学曹振亚吴德馨
关键词：深亚微米HEMT半导体制造工艺
微透镜阵列及其制作方法
本发明实施例公开了一种微透镜阵列及其制作方法，所述制作方法包括：提供基底；在基底内形成阵列浅槽；在基底上旋涂光刻胶，所述光刻胶覆盖基底表面及基底内的阵列浅槽；通过光刻、刻蚀工艺使所述阵列浅槽内的光刻胶达到预设高度；通过热...
闫建华欧文欧毅
文献传递
带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池及其制造方法
一种带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池及其制造方法，制造方法包括：在电池衬底表面扩散PN结；在所述PN结表面生长本征氧化锌高阻层；在所述本征氧化锌高阻层上制备一层低阻氧化锌薄膜；用稀酸溶液腐蚀所述低阻氧化锌薄膜表面，...
刘金彪熊文娟欧文李俊峰
文献传递
太赫兹焦平面阵列及检测与成像装置
本实用新型公开了一种太赫兹焦平面阵列，包括框架、悬臂梁和吸收结构；其中，吸收结构，包括依次层叠的第一金属层、第一介质层和金属方块阵列；悬臂梁，两个悬臂梁分别位于金属方块阵列的相对侧，每个悬臂梁为由纵部和横部首尾依次连接形...
李志刚欧毅傅剑宇尚海平欧文陈大鹏
文献传递
一种双面微透镜阵列及其制造方法
本发明公开了一种双面微透镜阵列及其制造方法，其中，所述双面微透镜阵列，包括：双面微透镜组成的阵列，其中，阵列中每个双面微透镜包括上层微凸透镜和下层微凸透镜；每个双面微透镜中上层微凸透镜和下层微凸透镜为中心一一对应排列形式...
闫建华欧文欧毅
文献传递
超表面结构MEMS红外超窄带光源研究
2022年
针对常用的MEMS红外光源是类灰体光源,存在发射光谱范围比较广的问题,提出一种基于表面等离子体的超表面结构,将其覆盖在MEMS光源上实现一种有选择性、高发射率的窄带光源。还提出了一种改进的集总等效电路模型,通过模型能够比较准确地计算出超表面中结构尺寸对光源中心频率、带宽以及发射率的影响,探究了该结构中各个尺寸的改变对光源性能的影响。本文提出的模型计算结果跟仿真结果吻合,使用该模型能够避免耗时的、复杂的数值优化过程。
邹宇蒋文静欧文
关键词：红外物理
温度反应器及其制作方法
本发明提供一种温度反应器及其制作方法。通过在温度反应器制作工艺过程中形成密封腔体和观察窗口并在形成密封腔体的密封层中设置测温电阻，本发明能够克服传统温度反应器使用时存在的上下窗口难以对准导致的测试样品容易污染、温度反应器...
蒋文静刘战峰欧文
文献传递
穿硅通孔结构及其形成方法
一种穿硅通孔结构及其形成方法，所述形成方法包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底包括相对的上表面和下表面；对所述半导体衬底的上表面进行刻蚀，形成开口；在所述开口中填充导电材料，形成第一连接钉；对所述半导体衬底的下表面进行刻...
赵超陈大鹏欧文
文献传递
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