潘慧君
- 作品数：8 被引量：13H指数：3
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省博士后科研资助计划项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
- 半导体硅电火花成形持续加工条件研究被引量：1
- 2014年
- 采用紫铜电极进行半导体硅电火花成形加工时,加工表面经常会生成黑点物质,导致加工无法进行。分析表明,该黑点物质为不具有导电性的铜氧化物。为避免该物质的产生,首先通过选用石墨电极改变电极材料,并选用不含有氧元素的工作介质,杜绝非导电金属氧化物形成的条件;其次,通过增加电极的附加振动或旋转,使极间的洗涤、冷却能力增强,改善了极间的排屑条件,从而使半导体硅电火花成形加工得以稳定顺利地进行。
- 黄赛娟刘志东邱明波田宗军潘慧君
- 关键词：半导体硅电火花加工氧化物
- 半导体电火花线切割加工电流脉冲概率特性及伺服控制研究被引量：4
- 2013年
- 对当前基于金属加工的电火花伺服控制系统在半导体电火花加工中失效的原因进行了分析。由于半导体加工中采样电压不再只是放电通道电压,而是由放电通道电压、半导体体电阻压降和接触势垒压降之和组成,使系统无法准确识别加工状态,导致无法进行准确的伺服进给。对进给速度与电流脉冲概率的关系进行了研究,提出了一种全新的基于电流脉冲概率的半导体电火花加工伺服控制方法,对相关系统参数进行了优化,最终实现了半导体电火花高效、精密、稳定加工。
- 潘慧君刘志东黄赛娟邱明波田宗军
- 关键词：半导体电火花线切割加工伺服控制
- 基于电流脉冲概率检测的电火花伺服控制方法
- 一种基于电流脉冲概率检测的电火花伺服控制方法，其特征是以电流信号为采样信号，通过取样电路在采样周期内对电流脉冲出现概率进行采集得到采样电流脉冲概率；采用微处理器对采样电流脉冲概率进行计算和存储，将二者进行比较，得到比例因...
- 刘志东邱明波潘慧君田宗军沈理达
- 文献传递
- 往复走丝电火花线切割机床工艺特点及现状被引量：2
- 2012年
- 介绍了往复(高速)走丝电火花线切割机床加工工艺指标的研究进展,对其高效稳定切割、高厚度切割、大锥度切割、稳定多次切割的实现,以及半导体和其他特种材料切割等工艺目前所能达到的工艺指标、存在的问题、解决思路等,结合往复走丝的加工机理进行了分析。研究认为往复走丝电火花线切割加工有其自身独特的工艺特点,并将获得持续的发展。
- 刘志东潘阳李谢峰潘慧君
- 关键词：高速走丝电火花线切割加工工艺特点
- 基于电流脉冲概率检测的电火花伺服控制方法
- 一种基于电流脉冲概率检测的电火花伺服控制方法，其特征是以电流信号为采样信号，通过取样电路在采样周期内对电流脉冲出现概率进行采集得到采样电流脉冲概率；采用微处理器对采样电流脉冲概率进行计算和存储，将采样电流脉冲概率与所设定...
- 刘志东邱明波潘慧君田宗军沈理达
- 半导体电火花线切割微接触式放电高效切割机理研究被引量：2
- 2013年
- 与金属电火花加工不同,由于半导体材料特殊的电特性,在进行半导体电火花线切割加工时,在电极丝与工件接触甚至已经被工件顶弯的状态下依然可以进行火花放电,蚀除工件材料,并且在微接触状态的切割效率还大大提高。研究分析认为:这主要是由于接触势垒和体电阻的存在,导致两极间在微接触时极间电压依旧维持在一个较高值,从而能在与微接触点不同的其他区域产生火花放电。分析了微接触式放电状态下效率提高的机理,认为切割效率的提高主要是由于脉冲放电本身利用效率的提高和侧边放电几率的降低所导致的用于正常蚀除的整体脉冲利用率提高。对微接触状态下的加工精度进行了研究,认为在微接触状态下进行切割加工时,应调整补偿量,以维持较好的加工尺寸精度。
- 潘慧君刘志东邱明波黄赛娟田宗军
- 关键词：电火花线切割
- 半导体电火花线切割加工特性及伺服控制策略研究
- 随着科技领域对半导体应用需求的提高，科研人员对半导体材料的加工提出了越来越高的要求。电火花加工技术因其没有宏观加工力的特点非常适合硬脆半导体材料的加工。经过科研人员多年努力，对于半导体电火花加工的机理、特性和工艺等已经有...
- 潘慧君
- 关键词：半导体材料电火花线切割伺服控制系统
- 文献传递
- 半导体电火花加工爬坡式电流现象研究被引量：3
- 2014年
- 对单晶硅电火花加工过程中的电流爬坡式上升现象进行了研究,结果表明,爬坡式电流主要是由加工过程中接触电阻的变化引起的,而接触电阻主要由高温区的接触面积决定。对爬坡式电流曲线的性质进行了研究,分析了温度、热导率和相变能量对接触电阻和放电电流变化的影响。最后,研究了电参数对加工效率的影响,结果表明采用大脉宽、高电压和小占空比能够大大提高加工效率。
- 潘慧君刘志东邱明波田宗军
- 关键词：半导体电火花接触电阻
