黄赛娟
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省博士后科研资助计划项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺航空宇航科学技术电子电信更多>>
- 半导体硅电火花多通道放电及成形加工条件研究
- 半导体硅属于典型的硬脆性材料,具有特殊的电学特性和物理特性,这些特质使得它在尖端科技领域的应用越来越广泛。利用传统的机械加工方式加工半导体硅时,主要通过机械力来去除材料,会在加工表面造成崩碎和裂纹。电火花加工是通过放电过...
- 黄赛娟
- 关键词：半导体硅电火花加工放电通道
- 文献传递
- 半导体电火花线切割微接触式放电高效切割机理研究被引量：2
- 2013年
- 与金属电火花加工不同,由于半导体材料特殊的电特性,在进行半导体电火花线切割加工时,在电极丝与工件接触甚至已经被工件顶弯的状态下依然可以进行火花放电,蚀除工件材料,并且在微接触状态的切割效率还大大提高。研究分析认为:这主要是由于接触势垒和体电阻的存在,导致两极间在微接触时极间电压依旧维持在一个较高值,从而能在与微接触点不同的其他区域产生火花放电。分析了微接触式放电状态下效率提高的机理,认为切割效率的提高主要是由于脉冲放电本身利用效率的提高和侧边放电几率的降低所导致的用于正常蚀除的整体脉冲利用率提高。对微接触状态下的加工精度进行了研究,认为在微接触状态下进行切割加工时,应调整补偿量,以维持较好的加工尺寸精度。
- 潘慧君刘志东邱明波黄赛娟田宗军
- 关键词：电火花线切割
- 半导体硅电火花成形持续加工条件研究被引量：1
- 2014年
- 采用紫铜电极进行半导体硅电火花成形加工时,加工表面经常会生成黑点物质,导致加工无法进行。分析表明,该黑点物质为不具有导电性的铜氧化物。为避免该物质的产生,首先通过选用石墨电极改变电极材料,并选用不含有氧元素的工作介质,杜绝非导电金属氧化物形成的条件;其次,通过增加电极的附加振动或旋转,使极间的洗涤、冷却能力增强,改善了极间的排屑条件,从而使半导体硅电火花成形加工得以稳定顺利地进行。
- 黄赛娟刘志东邱明波田宗军潘慧君
- 关键词：半导体硅电火花加工氧化物
- 半导体电火花线切割加工电流脉冲概率特性及伺服控制研究被引量：4
- 2013年
- 对当前基于金属加工的电火花伺服控制系统在半导体电火花加工中失效的原因进行了分析。由于半导体加工中采样电压不再只是放电通道电压,而是由放电通道电压、半导体体电阻压降和接触势垒压降之和组成,使系统无法准确识别加工状态,导致无法进行准确的伺服进给。对进给速度与电流脉冲概率的关系进行了研究,提出了一种全新的基于电流脉冲概率的半导体电火花加工伺服控制方法,对相关系统参数进行了优化,最终实现了半导体电火花高效、精密、稳定加工。
- 潘慧君刘志东黄赛娟邱明波田宗军
- 关键词：半导体电火花线切割加工伺服控制
