郭琳瑞
- 作品数：13 被引量：6H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信机械工程兵器科学与技术更多>>
- 碳纳米管场致发射微机械加速度计
- 本发明公开了属于微机电系统和传感技术领域的一种基于碳纳米管场致发射位移敏感特性的碳纳米管场致发射微机械加速度计。主要由上硅片上的梁或膜等弹性结构支撑的硅岛、硅岛表面的接收阳极；下硅片上的碳纳米管场致发射阴极；以及阴极与阳...
- 叶雄英郭琳瑞周兆英
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- 碳纳米管场致发射微机械加速度计
- 本发明公开了属于微机电系统和传感技术领域的一种基于碳纳米管场致发射位移敏感特性的碳纳米管场致发射微机械加速度计。主要由在上硅片上具有弹性的梁或膜支撑的硅岛和硅岛表面的接收阳极；下硅片上的碳纳米管场致发射阴极；以及阴极与阳...
- 叶雄英郭琳瑞周兆英
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- 定向多壁碳纳米管薄膜及其场致发射距离敏感特性被引量：1
- 2006年
- 研究了定向生长的多壁碳纳米管薄膜场致发射的距离敏感特性,以改进现有场发射传感器中硅及金属针尖的性能。化学气相沉积方法制备的多壁碳纳米管薄膜表现出良好的尖端放电特性,其开启电场可至1.42 V/μm,阈值电场可至2.22 V/μm,通过计算得到的尖端电场增强因子可至4 034以上。随着发射间距的增加,场致发射电流非线性地降低,发射电流对发射间距的最大变化率为0.018 8μA/μm。通过拟合分析发现,场致发射电流随发射间距的变化基本符合Fow ler-N ordhe im关系,该特性可作为碳纳米管场致发射传感器的基本原理用于位移的检测。
- 郭琳瑞叶雄英周兆英梁吉
- 关键词：微机电系统传感器场致发射碳纳米管
- MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究
- 本文利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积...
- 郭琳瑞陈烽叶雄英刘力涛伍康周兆英
- 关键词：微机电系统纳机电系统场发射电泳沉积
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- 碳纳米管场发射距离敏感性及场发射MEMS加速度计研究
- 郭琳瑞
- 关键词：加速度计碳纳米管场致发射
- 共振隧穿微机械力传感器及其制造方法
- 共振隧穿微机械力传感器及其制造方法，属于微机电系统和传感技术领域。为了增加隧穿间隙以降低制造和控制的难度、提高传感器灵敏度，本发明公开了一种共振隧穿微机械力传感器，主要结构由上、下两个硅片组成，上硅片下表面生长有隧穿阳极...
- 郭琳瑞叶雄英周兆英杨兴
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- 基于碳纳米管场致发射的梳齿结构微机械加速度计
- 一种基于碳纳米管场致发射的梳齿结构微机械加速度计，由硅质上硅片和下玻璃组成；上硅片包括：硅岛相对的两侧面上带有垂向可动梳齿型阳极；分别位于硅岛阳极端的N对固定于固定块的垂向固定梳齿型碳纳米管场致发射阴极；该阴极由硅质垂向...
- 叶雄英陈烽郭琳瑞周兆英
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- MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究被引量：2
- 2006年
- 利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V^4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种"post-MEMS"的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容.
- 郭琳瑞陈烽叶雄英刘力涛伍康周兆英
- 关键词：场发射
- 一种碳纳米管薄膜的电泳沉积制备方法
- 一种碳纳米管薄膜的电泳沉积制备方法，属纳米材料技术领域，本方法包含碳纳米管的纯化处理和表面修饰、碳纳米管稳定悬浮液的形成、电泳沉积碳纳米管薄膜、薄膜烘干和二次电泳沉积几个步骤。本发明具有生产设备简单、成膜快、薄膜厚度可控...
- 叶雄英郭琳瑞周兆英
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- 一种碳纳米管薄膜的电泳沉积制备方法
- 一种碳纳米管薄膜的电泳沉积制备方法，属于纳米材料技术领域，本方法包含碳纳米管的纯化处理和表面修饰、碳纳米管稳定悬浮液的形成、电泳沉积碳纳米管薄膜、薄膜烘干和二次电泳沉积几个步骤。本发明具有生产设备简单、成膜快、薄膜厚度可...
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