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陈怡儒
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
大连理工大学电子科学与技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
电子电信
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合作作者
徐迎华
大连理工大学电子科学与技术学院
李鑫
大连理工大学电子科学与技术学院
闫卫平
大连理工大学电子科学与技术学院
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并联式
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陈怡儒
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徐迎华
传媒
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压电与声光
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1篇
2010
1篇
2009
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2
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双腔并联压电驱动无阀微泵的研究
微流控系统在航空航天、生物芯片等诸多领域有着广泛的应用,是目前MEMS(微机电系统,Micro-Electro-Machanical System)研究的热点。微泵在微流控系统中驱动液体流动,是微流控系统中的核心部件之一...
陈怡儒
关键词:
微机电系统
无阀微泵
ANSYS软件
压电驱动
特性参数
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双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作
被引量:4
2010年
为了实现微流控芯片的小型化、集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微泵。该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜。测试结果表明,泵膜的厚度、工作频率和电压对微泵的输出流速均有明显的影响,在频率1 100 Hz及电压80 V时,双腔体并联式无阀压电微泵的最大流速为210μL/min,约为相同结构单腔体微泵流速的1.5倍。
李鑫
闫卫平
徐迎华
陈怡儒
关键词:
双腔
无阀微泵
压电双晶片
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