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顾兴莲

作品数：5 被引量：4H指数：1
供职机构：东南大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信天文地球更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇天文地球
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇雨量
  • 4篇雨量传感器
  • 3篇电容
  • 3篇引线
  • 3篇引线键合
  • 3篇绝缘衬底
  • 3篇键合
  • 3篇衬底
  • 3篇传感器灵敏度
  • 2篇电容式
  • 2篇微机械
  • 2篇硅微机械
  • 1篇压力传感器
  • 1篇阵列
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片封装
  • 1篇力传感器

机构

  • 5篇东南大学

作者

  • 5篇顾兴莲
  • 4篇秦明
  • 4篇余辉洋

传媒

  • 1篇东南大学学报...

年份

  • 1篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
电容式硅微机械雨量传感器
电容式硅微机械雨量传感器采用单晶硅膜(1)作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷(3)作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块(6)的下表面作为电容上电极，在硅质量块(6)的上表面是一层氧化硅(4)，绝缘衬底上溅射的金属(2)作为...
顾兴莲秦明余辉洋
文献传递
电容式硅微机械雨量传感器
电容式硅微机械雨量传感器采用单晶硅膜(1)作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷(3)作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块(6)的下表面作为电容上电极，在硅质量块(6)的上表面是一层氧化硅(4)，绝缘衬底上溅射的金属(2)作为...
顾兴莲秦明余辉洋
文献传递
MEMS热式风速风向传感器封装技术研究
气象检测与国家的工农业生产和人们的日常生活密切相关，并在航天探空、资源开发、交通旅游、开发建设以及环境保护等诸多领域起着至关重要的作用，风速风向的测量作为气象检测的重要部分，在气象检测中提供核心气象信息。目前，风速测量领...
顾兴莲
关键词：风速测量MEMS技术芯片封装
高灵敏度雨量传感器
高灵敏度雨量传感器采用单晶硅膜(1)作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷(3)作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块(6)的下表面作为电容上电极，在硅质量块(6)的上表面是一层氧化硅(4)，绝缘衬底上溅射的金属(2)作为电容的...
顾兴莲秦明余辉洋
文献传递
一种可用于雨量测量的压力传感器被引量：3
2010年
设计了一种可用于测雨压的压力传感器,给出了传感器结构及其微加工流程.传感器由3×3的压敏电容阵列组成,压敏电容将压力信号转换成电容信号,通过检测雨水冲击作用间接测量雨量的大小.基于弹性力学理论建立了传感器的力学模型,并与ANSYS有限元分析软件进行比较,结果表明理论模型具有较好的精度.介绍了传感器制作的微加工工艺流程并采用硅橡胶对传感器进行防水密封封装,并给出了制作完成后传感器的测试结果,从测试结果可以看出该雨量传感器的灵敏度可以达到2.255 7fF/Pa.
余辉洋顾兴莲秦明
关键词：MEMS电容雨量传感器
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