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马桂杰
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
山东建筑大学
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发文基金:
山东省自然科学基金
博士科研启动基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
付刚
山东建筑大学理学院
赵金花
山东建筑大学理学院
时术华
山东建筑大学理学院
秦希峰
山东建筑大学理学院
王凤翔
山东建筑大学理学院
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山东建筑大学
作者
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1篇
赵金花
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付刚
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2015
1篇
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SOI基SiOx柱光子晶体的研究
人类科技的进步很大程度上是基于新材料的发现与应用,光子晶体作为新型的人工材料,由于其具有光子禁带和光子局域的特性,使光子晶体制作的光学器件拥有传统光学器件无法比拟的优势。绝缘体上的硅(SOI)是突破目前体硅材料极限最主要...
马桂杰
关键词:
光子晶体
晶体结构
晶体光学
文献传递
铒离子注入绝缘体上Si的射程分布研究
被引量:1
2014年
利用离子注入掺杂技术设计、制作半导体集成器件时,了解离子注入半导体材料的射程分布和横向离散规律等是很重要的.用200—500 keV能量的铒(Er)离子注入SOI(silicon-on-insulator,绝缘体上的硅)样品中,利用卢瑟福背散射(RBS)技术研究了剂量为2×1015cm-2的Er离子注入SOI的平均投影射程Rp和射程离散△Rp,把测出的实验值和SRIM软件得到的理论计算值进行了比较,发现平均投影射程Rp的实验值跟理论计算值符合较好,射程离散△Rp的实验值和理论计算值差别大一些.
秦希峰
马桂杰
时术华
王凤翔
付刚
赵金花
关键词:
离子注入
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