2025年1月9日
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赵金花
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
山东建筑大学
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发文基金:
山东省自然科学基金
博士科研启动基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
付刚
山东建筑大学理学院
秦希峰
山东建筑大学理学院
王凤翔
山东建筑大学理学院
时术华
山东建筑大学理学院
马桂杰
山东建筑大学理学院
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山东建筑大学
作者
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赵金花
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付刚
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王凤翔
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秦希峰
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马桂杰
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时术华
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2019
1篇
2015
1篇
2014
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一种基于He离子辐照的石榴石晶体薄膜的制备方法
一种基于He离子辐照的石榴石晶体薄膜的制备方法,包括:a)计算得到He离子的能量和剂量;b)按计算得到He离子的能量和剂量对石榴石晶体进行辐照,损伤层将石榴石晶体分割成上端的表面层和下端的衬底层;c)将辐射后的石榴石晶体...
赵金花
付刚
李爽
文献传递
一种调控SiC基外延石墨烯电子带隙的方法
一种调控SiC基外延石墨烯电子带隙的方法,包括如下步骤:a)通过SRIM软件计算辐照离子在SiC晶体中产生的损伤分布、电子能量损失和核能量损失分布,计算缺陷石墨烯的能带结构;b)用离子束对SiC基外延石墨烯样品进行辐照,...
赵金花
秦希峰
王凤翔
付刚
文献传递
铒离子注入绝缘体上Si的射程分布研究
被引量:1
2014年
利用离子注入掺杂技术设计、制作半导体集成器件时,了解离子注入半导体材料的射程分布和横向离散规律等是很重要的.用200—500 keV能量的铒(Er)离子注入SOI(silicon-on-insulator,绝缘体上的硅)样品中,利用卢瑟福背散射(RBS)技术研究了剂量为2×1015cm-2的Er离子注入SOI的平均投影射程Rp和射程离散△Rp,把测出的实验值和SRIM软件得到的理论计算值进行了比较,发现平均投影射程Rp的实验值跟理论计算值符合较好,射程离散△Rp的实验值和理论计算值差别大一些.
秦希峰
马桂杰
时术华
王凤翔
付刚
赵金花
关键词:
离子注入
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