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刘云峰
作品数:
12
被引量:59
H指数:5
供职机构:
东南大学薄膜研究所
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相关领域:
电子电信
理学
自动化与计算机技术
一般工业技术
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合作作者
陈国平
东南大学薄膜研究所
茅昕辉
东南大学薄膜研究所
张浩康
东南大学电子科学与工程学院
黄蕙芬
东南大学电子科学与工程学院
庄大明
东南大学电子科学与工程学院
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机构
12篇
东南大学
作者
12篇
刘云峰
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陈国平
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茅昕辉
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庄大明
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黄蕙芬
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年份
1篇
2000
4篇
1999
5篇
1998
2篇
1996
共
12
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Ta_2O_5薄膜MOS型湿敏元件的机理研究
被引量:1
1998年
使用直流磁控反应溅射的工艺方法制备了Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件,提出了元件的结构模型,并对其感湿机理进行了讨论.
刘云峰
陈国平
张浩康
关键词:
MOS
湿敏元件
氧化钽
脉冲溅射电源的设计及其应用
被引量:4
1998年
设计研制了脉冲溅射电源并用此电源制备了Al2O3薄膜。实验表明采用脉冲电源可以抑制溅射靶面的异常放电。
刘云峰
陈国平
关键词:
电源
交流磁控溅射技术及其应用
被引量:5
1998年
本文阐述了交流溅射技术的原理、特点及其应用。
刘云峰
茅昕辉
张浩康
陈国平
IGBT驱动集成电路的保护特性研究
1999年
本文阐述了IGBT驱动集成电路的过流保护原理,着重讨论了IGBT保护电路的设计思路。
刘云峰
陈国平
关键词:
IGBT
驱动集成电路
过流保护
双极性晶体管
使用薄膜湿敏元件的湿度控制器的设计
被引量:2
1998年
介绍了一种以Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件为核心的湿度控制电路。该电路性能稳定,易于调节,应用广泛。
刘云峰
陈国平
关键词:
应力分布
优化设计
湿敏元件
用于有源矩阵液晶显示的Ta-Ta2O5-TaMIM薄膜二极管
被引量:3
1999年
本文介绍了一种用于有源矩阵液晶显示、具有对称结构的MIM薄膜二极管,其中Ta2O5膜采用溅射/阳极氧化两步法制成。实验结果表明,用此法制备的氧化钽膜作绝缘层的MIM二极管,具有良好的开关特性。
黄蕙芬
庄大明
张浩康
刘云峰
关键词:
有源矩阵
MIM薄膜二极管
ZnS薄膜的结构研究
被引量:7
1996年
本文报导了对不同方法沉积的ZnS薄膜进行X射线衍射结构分析和透射光谱测试的结果,给出了不同条件下ZnS薄膜的晶态结构和它与各种成膜工艺之间的关系。
刘云峰
陈国平
关键词:
X射线衍射
透射光谱
硫化锌
Ta<,2>O<,5>薄膜MOS型湿度传感器的研制
刘云峰
铝靶脉冲反应溅射沉积氧化铝薄膜中的迟滞回线的研究
被引量:20
2000年
采用脉冲磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验 ,对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的“迟滞回线”现象进行了研究。通过给出靶面刻蚀区氧化层厚度与氧分压之间的关系 ,解释了薄膜沉积速率变化的原因。
茅昕辉
刘云峰
张浩康
陈国平
关键词:
迟滞回线
反应溅射
氧化铝薄膜
IGBT的过流保护策略
被引量:13
1999年
本文研究了IGBT的过流保护策略,给出了一种新的过流保护设计思路。
刘云峰
陈国平
关键词:
IGBT
过流保护
绝缘栅
双极晶体管
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