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刘召

作品数:67 被引量:15H指数:3
供职机构:清华大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 59篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 10篇自动化与计算...
  • 6篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 23篇光刻
  • 20篇激光
  • 17篇激光干涉
  • 17篇干涉仪
  • 16篇六自由度
  • 16篇光刻机
  • 13篇电机
  • 11篇激光干涉仪
  • 11篇光干涉仪
  • 8篇大行程
  • 8篇平面电机
  • 8篇机器人
  • 8篇光栅
  • 8篇测量系统
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇掩膜
  • 6篇双频激光
  • 6篇套刻

机构

  • 67篇清华大学
  • 2篇东北大学
  • 2篇北京华卓精科...
  • 1篇成都飞机工业...
  • 1篇北京华卓精科...

作者

  • 67篇刘召
  • 52篇朱煜
  • 52篇尹文生
  • 52篇张鸣
  • 52篇杨开明
  • 50篇胡金春
  • 50篇徐登峰
  • 46篇穆海华
  • 29篇成荣
  • 24篇田丽
  • 23篇刘昊
  • 19篇胡楚雄
  • 18篇张利
  • 15篇张金
  • 13篇叶伟楠
  • 12篇王磊杰
  • 11篇陈恳
  • 10篇秦慧超
  • 7篇杨向东
  • 7篇王婧

传媒

  • 1篇机械工程学报
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇高技术通讯
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇机器人
  • 1篇2005全国...

年份

  • 2篇2016
  • 13篇2015
  • 12篇2014
  • 21篇2013
  • 12篇2012
  • 3篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2005
67 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种双频激光干涉仪多轴位移信号处理方法
一种双频激光干涉仪多轴位移信号处理方法,该方法是将双频激光干涉仪的多轴测量信号和参考信号滤波放大,在保证高速模数转换器的孔径时间足够小且测量触发时钟同步驱动高速模数转换器与高速现场可编程逻辑门阵列的情况下,采用高速模数转...
朱煜胡金春尹文生陈龙敏杨开明张鸣徐登峰穆海华胡楚雄刘召
一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统
一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统,包括激光器、反射镜、分束器、基底台、基底和图形锁定装置;激光器出射的激光经分光镜分为曝光光束和参考光束,曝光光束经分束器后利用反射镜折光在基底台承载的基底上实现干涉,干涉图形通过曝...
张鸣朱煜王磊杰刘召杨开明胡金春尹文生穆海华胡楚雄徐登峰成荣
文献传递
基于隐函数的医疗机器人腹腔手术环境障碍物描述被引量:2
2012年
针对机器人辅助腹腔介入治疗手术环境复杂,手术规划需要依据所掌握的手术环境内障碍物空间表面信息的实际情况,对手术环境中障碍物的描述进行了深入研究,提出用隐函数的方法对手术环境中多个障碍物的空间表面信息进行统一描述,根据通过磁定位器获取的目标物体表面样本点,用广义特征向量拟合方法对血管、肋骨、病人腹腔表皮及消融针表面进行曲面拟合,建立描述对象的隐函数式,并用Matlab进行三维显示。通过实验证明,广义特征向量拟合方法在解决非线性最小二乘问题方面比Levenberg—Mar—quardt方法优越,验证了广义特征向量拟合方法对初值的不敏感性、快速性、有效性、准确性和广泛性。成功建立的手术环境障碍物隐函数式可为医疗机器人后续手术规划提供有效的运动约束。
刘少丽杨向东邵君奕刘召伊强陈恳
关键词:隐函数医疗机器人
一种机器人用单流量计式数字化喷涂系统
一种机器人用单流量计式数字化喷涂系统,由进料管路、回料管路、空气管路和控制部分组成,进料管路将涂料从涂料容器输送到自动喷枪进料口,管路中串接数字式流量计和气动比例阀;回料管路将涂料从自动喷枪出料口输送回涂料容器,实现循环...
王国磊陈恳缪东晶刘召潘玉龙杨向东杨东超张传清
文献传递
一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置
一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置,该测量装置包括:激光器、平面镜干涉仪、接收器、读数单元、偏振装置、平面反射镜以及安装于硅片台上的反射透射棱镜,反射透射棱镜具有偏振镜面和反射镜面。平面镜干涉仪沿水平方向至少...
张鸣朱煜王磊杰刘昊刘召杨开明徐登峰胡金春尹文生
文献传递
基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统
一种基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统,针对光刻机硅片台、掩膜台的定位而发明。该系统主要包括半导体激光器、光纤准直器、光纤、光纤分路器、滤光片、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光...
张鸣朱煜刘召胡金春徐登峰杨开明尹文生穆海华
考虑振动抑制的多冗余度特种操作机器人轨迹优化方法被引量:2
2012年
为了实现复杂曲管内曲面的自动化喷涂作业,设计多自由度的冗余度特种操作机器人。而多冗余度机器人系统刚度低,使得机器人在喷涂作业过程中出现振动,末端轨迹跟踪误差加大,降低了涂层质量。为此,通过分析冗余度机器人带有弹性变形影响的动力学方程,提出一种利用冗余自由度对机器人关节空间作业轨迹进行优化的新方法,实现了机器人在作业过程中的振动抑制,并且满足复杂三维工作空间约束。在试验中应用此方法,机器人在运动过程中既满足复杂的工作约束,同时减少了末端的振动,实现了振动抑制,证明了该优化方法的有效性。
邵君奕张传清刘召陈恳
关键词:冗余度机器人
一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法
一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法,该方法是在动子上沿动子运动方向布置两个磁感应强度传感器,两个传感器相距磁场极距的四分之一<Image file="DDA0000139963170000011.GIF" he="3...
胡金春朱煜穆海华孙玉婷张鸣杨开明刘召尹文生
文献传递
一种具有永磁重力补偿结构的微动台
一种具有永磁重力补偿结构的微动台,包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分,固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成,四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上,每个...
张鸣朱煜刘召许玉洁李玉洁田丽张利杨开明徐登峰秦慧超王平安尹文生胡金穆海华
文献传递
一种具有防撞功能的硅片台
一种具有防撞功能的硅片台,该硅片台含有硅片台台体和线缆台,线缆台安装在硅片台的一个侧面,硅片台含有三个气囊、四个阻尼缓冲元件和气源,三个气囊串联布置,并分别通过气囊支架固定在硅片台的另外三个侧面上;相邻两个气囊之间通过一...
朱煜张鸣刘召杨开明徐登峰田丽张利秦慧超王平安尹文生胡金春穆海华
文献传递
共7页<1234567>
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