刘祚麟
- 作品数：9 被引量：2H指数：1
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
- 利用Ba0.65Ru0.35TiO3缓冲层制备高热释电系数的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜
- 采用射频溅射,在Ba0.65Sr0.35TiO3(BST)薄膜和Pt/Ti/SiO2/Si衬底之间制备10nm的Ba0.65Ru0.35RuO3(BSR)缓冲层,研究了BSR缓冲层对BST薄膜结构和性能的影响.与没有BS...
- 刘祚麟吴传贵张万里刘兴钊李言荣
- 关键词：钛酸锶钡薄膜缓冲层射频溅射
- 文献传递
- 利用Ba_(0.65)Ru_(0.35)TiO_3缓冲层制备高热释电系数的Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3薄膜
- 2006年
- 采用射频溅射,在 Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3(BST)薄膜和 Pt/Ti/SiO_2/Si 衬底之间制备10 nm 的 Ba_(0.65)Ru_(0.35)RuO_3(BSR)缓冲层,研究了 BSR 缓冲层对 BST 薄膜结构和性能的影响。与没有 BSR 缓冲层的 BST 薄膜相比,BSR 缓冲层可使 BST 薄膜呈高度 a 轴择优取向生长,改善了薄膜的介电常数,降低了薄膜的漏电流密度,使其热释电系数达到7.45×10^(-7)C cm^(-2)K^(-1)。表明利用 BSR 缓冲层可以制备高热释电性能的 BST 薄膜。
- 刘祚麟吴传贵张万里刘兴钊李言荣
- 关键词：钛酸锶钡薄膜热释电系数缓冲层
- 钛酸锶钡热释电薄膜及其非制冷红外探测器研究
- 开展了钛酸锶钡(BST)热释电薄膜材料制备工艺研究,及其在单元器件和焦平面器件中的应用研究。在 Pt/Ti/SiO/Si 衬底上,用倒筒靶射频溅射方法制备了 BST 热释电薄膜。通过低温缓冲层技术和调控自偏压的方法,降低...
- 李言荣吴传贵张万里刘祚麟赵强
- 关键词：钛酸锶钡热释电红外探测器
- 文献传递
- 利用Ba0.65Ru0.35TiO3缓冲层制备高热释电系数的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜
- 采用射频溅射,在Ba0.65Sr0.35TiO(3BST)薄膜和Pt/Ti/SiO2/Si衬底之间制备10nm的Ba0.65Ru0.35RuO3(BSR)缓冲层,研究了BSR缓冲层对BST薄膜结构和性能的影响。与没有BS...
- 刘祚麟吴传贵张万里刘兴钊李言荣
- 关键词：钛酸锶钡薄膜热释电系数缓冲层
- 文献传递
- 倒筒式射频溅射自偏压对Ba0．65Sr0．35TiO3热释电薄膜结构及性能的影响
- 采用倒筒式射频溅射方法,在 Pt/Ti/SiO/Si 基片上制备了 BaSrTiO(简称 BST)薄膜。研究了自偏压对 BST 薄膜结构及电学性能的影响。在较高自偏压下制备的 BST 薄膜具有高度的(100) 择优取向,...
- 赵强罗一生刘祚麟马建福张万里
- 关键词：BST射频溅射热释电系数探测率
- 文献传递
- 钛酸锶钡热释电薄膜及其非制冷红外探测器研究
- 2007年
- 开展了钛酸锶钡(BST)热释电薄膜材料制备工艺研究,及其在单元器件和焦平面器件中的应用研究.在删Pt/Ti/SiO2/Si衬底上,用倒筒靶射频溅射方法制备了BST热释电薄膜.通过低温缓冲层技术和调控自偏压的方法,降低了BST薄膜的生长温度,提高了BST薄膜的c轴取向度和耐压特性,解决了薄膜制备的均匀性和一致性问题,使薄膜热释电系数达到6.7×10-7Ccm-2K-1.利用微细加工的方法,制备出全集成的BST薄膜单元红外探测器,抗过载能力强,探测器达到8×107cmHz1/2W-1,可以满足"灵巧弹药"的使用要求.实验表明,制备BST热释电薄膜的工艺不会对新型的耐高温读出电路造成破坏,为研制高性能的BST薄膜型焦平面探测器奠定了基础.
- 李言荣吴传里张万里刘祚麟赵强
- 关键词：钛酸锶钡热释电红外探测器
- 倒筒式射频溅射自偏压对Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3热释电薄膜结构及性能的影响被引量：2
- 2007年
- 采用倒筒式射频溅射方法,在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了Ba0.65Sr0.35TiO3(简称BST)薄膜。研究了自偏压对BST薄膜结构及电学性能的影响。在较高自偏压下制备的BST薄膜具有高度的(100)择优取向,且结晶性好,表面平整,耐压能力强。在25℃时薄膜的热释电系数高达6.73×10-7C/(cm2.K)。红外单元探测器在30Hz下的探测率D*为4.93×107cm.Hz1/2/W。研究结果表明,利用倒筒式射频溅射方法,适当提高自偏压,可以制备出热释电性能优良的BST薄膜。
- 刘祚麟吴传贵张万里李言荣
- 关键词：BST射频溅射热释电系数探测率
- 倒筒靶RF溅射制备BST热释电薄膜研究
- (Ba,Sr)TiO3（简称BST）是一种钙钛矿结构的铁电材料，具有介电常数高、漏电流密度小、热释电性能优良以及居里温度可调等特点，是制作单片式非制冷焦平面阵列（UFPA）的理想材料之一。为了满足单片式UFPA器件研制的...
- 刘祚麟
- 关键词：BST薄膜
- 倒筒式射频溅射频偏压对Ba0.65Sr0.35TiO3热释电薄膜结构及性能的影响
- 2007年
- 采用倒筒式射频溅射方法,在Pt、Ti/SiO2/Si基片上制备了Ba0.65Sr0.35TiO3(简称BST)薄膜.研究了自偏压对BST薄膜结构及电学性能的影响.在较高自偏压下制备的BST薄膜具有高度的(100)择优取向,且结晶性好,表面平整,耐压能力强.在25℃时薄膜的热释电系数高达6.73×10-7C.cM-2.K-7.研究结果表明,利用倒筒式射频溅射方法适当提高自偏压,可以制备出热释电性能优良的BST薄膜.
- 赵强罗一生刘祚麟马建福张万里
- 关键词：BST射频溅射热释电系数探测率
