张昭勇
- 作品数：7 被引量：46H指数：4
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划江苏省自然科学基金江苏省高校高新技术产业发展项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程动力工程及工程热物理更多>>
- CMOS集成二维热流量传感器的研究
- 该文基于国内外现有的研究成果,通过大量的研究和论证,提出了一个具有新型对称结构的CMOS集成二维热流量传感器.文中具体阐述了此传感器的工作原理,设计过程以及制作方法和最后的测试结果.在传感器的设计过程中,该文进一步发展了...
- 张昭勇
- 关键词：热模拟灵敏度
- 文献传递
- 热电薄膜型微传感器的优化设计被引量：4
- 2004年
- 详细分析了一维热电薄膜型微传感器的优化设计模型 ,探讨了热阻、灵敏度和探测率与传感器几何尺寸之间的关系。分析的时候考虑到热电堆的热端与敏感面的距离 m对传感器性能的影响。经过分析得出 :当 m(热电堆到热敏感面距离 )为定值时 ,灵敏度 S随梁长 l增大而增大 ,探测率 D*随着 l的增大先增大后减小 ;当 l为定值时 ,S和 D* 均随 m增大而减小。用曲线形式所表示的分析结果为此类传感器的优化设计提供了依据。
- 张昭勇秦明黄庆安朱昊
- 关键词：优化设计灵敏度探测率
- 硅热流量传感器的研究与发展被引量：15
- 2001年
- 本文详细地介绍了硅热流量传感器的工作原理并对它进行了细致的分类 ,同时概括了其发展和应用情况。
- 张昭勇秦明黄庆安
- 关键词：硅热流量传感器
- CMOS集成二维风速和风向传感器的研制被引量：7
- 2003年
- 提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器 ,其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成 ,其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝 /多晶硅型热电堆所构成 ,加热电阻位于热敏感元件的中间。具体阐述了此传感器的工作原理、结构尺寸和制备工艺 。
- 张昭勇秦明张中平黄庆安
- 关键词：风速风向运算放大电路加热电阻EDP
- 热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析被引量：3
- 2003年
- 本文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场 .并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响 .将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ,发现二者基本吻合 .利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度 。
- 张昭勇秦明黄庆安朱昊
- 关键词：有限元分析热模拟计算流体动力学气体流量传感器
- 热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析被引量：8
- 2002年
- 利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场。并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响。将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ,发现二者基本吻合。利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度 ,另外也为此类传感器的设计和验证提供了一个非常简单而有效的方法和依据。
- 张昭勇张昭猛秦明黄庆安
- 关键词：气体流量传感器热模拟有限元分析流体动力学
- 微电子机械系统计算机辅助设计被引量：12
- 1999年
- 主要介绍 ＭＥＭＳ 计算机辅助设计（ＣＡＤ） 的研究内容和发展，以及和 ＭＥＭＳ ＣＡＤ 有关的ＭＥＭＳ 标准化制造技术的发展情况。
- 黄庆安秦明李伟华匡一宁朱珂章彬孟为民鞠瑜华严先蔚张昭勇
- 关键词：微电子机械系统MEMSCAD
