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文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇应力
  • 2篇应力影响
  • 2篇热膨胀
  • 2篇热膨胀系数
  • 2篇稳定性
  • 2篇芯片
  • 2篇环境适应性
  • 2篇封装
  • 2篇封装外壳
  • 2篇高稳定
  • 2篇高稳定性
  • 1篇电极
  • 1篇电极对
  • 1篇振动
  • 1篇振动频率
  • 1篇线性度
  • 1篇敏感元件
  • 1篇控制式
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计

机构

  • 3篇中国电子科技...

作者

  • 3篇徐洲
  • 3篇谢佳维
  • 3篇林日乐
  • 3篇李文蕴
  • 3篇赵建华
  • 3篇翁邦英
  • 1篇林丙涛
  • 1篇张巧云
  • 1篇董宏奎
  • 1篇满欣
  • 1篇周倩

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2013
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
闭环控制式加速度计
本发明公开了一种闭环控制式加速度计,包括石英振梁加速度敏感元件和致动器;所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对,所述致动电极对,用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。...
林丙涛赵建华林日乐张巧云董宏奎翁邦英徐洲李文蕴谢佳维满欣周倩
文献传递
一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法
本发明公开了一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法,采用与谐振芯片热膨胀系数相同材料制造芯片支架,并通过所述芯片支架将谐振芯片固定安装在MEMS谐振器件的封装外壳内,然后对封装外壳进行密封加工,完成EMS谐振器件的制造。...
林日乐谢佳维赵建华翁邦英李文蕴徐洲
一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法
本发明公开了一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法,采用与谐振芯片热膨胀系数相同材料制造芯片支架,并通过所述芯片支架将谐振芯片固定安装在MEMS谐振器件的封装外壳内,然后对封装外壳进行密封加工,完成EMS谐振器件的制造。...
林日乐谢佳维赵建华翁邦英李文蕴徐洲
文献传递
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