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徐洲
作品数:
3
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供职机构:
中国电子科技集团第二十六研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
翁邦英
中国电子科技集团第二十六研究所
赵建华
中国电子科技集团第二十六研究所
李文蕴
中国电子科技集团第二十六研究所
林日乐
中国电子科技集团第二十六研究所
谢佳维
中国电子科技集团第二十六研究所
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1篇
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机构
3篇
中国电子科技...
作者
3篇
徐洲
3篇
谢佳维
3篇
林日乐
3篇
李文蕴
3篇
赵建华
3篇
翁邦英
1篇
林丙涛
1篇
张巧云
1篇
董宏奎
1篇
满欣
1篇
周倩
年份
1篇
2020
1篇
2019
1篇
2013
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3
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闭环控制式加速度计
本发明公开了一种闭环控制式加速度计,包括石英振梁加速度敏感元件和致动器;所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对,所述致动电极对,用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。...
林丙涛
赵建华
林日乐
张巧云
董宏奎
翁邦英
徐洲
李文蕴
谢佳维
满欣
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文献传递
一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法
本发明公开了一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法,采用与谐振芯片热膨胀系数相同材料制造芯片支架,并通过所述芯片支架将谐振芯片固定安装在MEMS谐振器件的封装外壳内,然后对封装外壳进行密封加工,完成EMS谐振器件的制造。...
林日乐
谢佳维
赵建华
翁邦英
李文蕴
徐洲
一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法
本发明公开了一种高稳定性MEMS谐振器件的制造方法,采用与谐振芯片热膨胀系数相同材料制造芯片支架,并通过所述芯片支架将谐振芯片固定安装在MEMS谐振器件的封装外壳内,然后对封装外壳进行密封加工,完成EMS谐振器件的制造。...
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