王权康
- 作品数：10 被引量：13H指数：2
- 供职机构：暨南大学理工学院物理学系更多>>
- 发文基金：广东省自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目广州市科技计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响被引量：6
- 2011年
- 采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,沿c轴择优取向生长;在可见光范围内,薄膜平均透过率约为80%;随着薄膜厚度的增加和工作压强的降低,薄膜的电阻率呈下降趋势;得到的薄膜最低方块电阻为7.5Ω/□。
- 张俊双叶勤曾富强王权康
- 关键词：磁控溅射薄膜厚度光电性能
- 工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响
- 室温条件下,采用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外一可见分光光度计(UV-Vis)和四探针对不同工作压强下所得的样品进行了结构、电学和光学性能的...
- 张俊双叶勤曾富强王权康
- 关键词：磁控溅射光电性能
- 热氧化法制备二氧化钒薄膜的电学特性
- 采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO薄膜。金属V膜在空气中400℃和450℃热氧化获得了具有电学相变特性的二氧化钒薄膜。
- 曾富强叶勤张俊双王权康
- 关键词：二氧化钒薄膜热氧化磁控溅射热致变色
- 氧化法在石英衬底上制备氧化钒薄膜及氧化过程和性能研究
- 2012年
- 采用直流溅射法在石英衬底上沉积不同厚度的金属钒(V)膜,在空气氛围中进行不同温度热氧化处理获得性能最佳的退火温度和薄膜厚度。用X射线衍射仪(XRD),傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线光电子能谱仪分别研究了薄膜的晶体结构,红外透射性和表面组分。结果表明:厚度约为100 nm的金属钒膜在空气中370°C下氧化60 min制得VO2含量较高,相变温度45℃,热滞宽度约10℃,高低温光透过率变化41%的氧化钒薄膜。
- 王权康叶勤
- 关键词：氧化钒薄膜磁控溅射
- 热氧化法制备二氧化钒薄膜及其相变温度研究被引量：7
- 2011年
- 采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(XPS)分析氧化温度对薄膜的微观结构、光学透过率、相变温度及其组分的影响。结果表明:金属V膜在空气中400℃热氧化1 h得到相变温度约为50℃和热滞宽度约10℃的二氧化钒薄膜。
- 曾富强叶勤张俊双王权康李仕萍
- 关键词：二氧化钒薄膜热氧化磁控溅射相变温度
- 二氧化钒薄膜的离子掺杂降低相变温度的研究进展
- 化钒(VO2)是一种备受人们关注低温热致相变材料,在68℃发生从低温半导体相向高温金属相的可逆相变.本文介绍了掺杂法改变二氧化钒相变温度的研究进展.VO2掺杂改变相变温度的原理包括原子尺寸和应力理论，化合价理论，电荷转移...
- 王权康叶勤
- 关键词：半导体薄膜二氧化钒离子掺杂工艺参数
- 射频反应磁控溅射法氧化钒薄膜的制备及其性能研究
- 射频反应磁控溅射法室温下在普通玻璃衬底上沉积厚度为约180nm的氧化钒薄膜,在高纯N2环境中,不同温度下(350℃、400℃、450℃、500℃)热处理60分钟,发现当热处理温度为400℃时,获得具有相变性能的VO2薄膜...
- 王权康刘彭义陈颖超叶勤
- 关键词：氧化钒薄膜磁控溅射法相变温度智能窗
- 热氧化法制备二氧化钒薄膜的电学特性
- 化钒在68℃发生半导体-金属相变，其晶体结构从低温单斜晶结构转变到高温四方金红石结构，光学和电学特性同时也发生可逆突变。采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜.金属V膜在空气中40...
- 曾富强叶勤张俊双王权康
- 关键词：半导体薄膜二氧化钒热氧化法微观结构电学特性
- 工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响
- 条件下,采用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和四探针对不同工作压强下所得的样品进行了结构、电学和光学性能的测量...
- 张俊双叶勤曾富强王权康
- 关键词：导电薄膜铝掺杂磁控溅射光电性能
- 二氧化钒薄膜的离子掺杂降低相变温度的研究进展
- 二氧化钒(VO)是一种备受人们关注低温热致相变材料,在68℃发生从低温半导体相向高温金属相的可逆相变。相变前后其光学和电学性能等发生巨大的变化,使其在光电开关,智能窗等方面有巨大的应用潜力,如何降低其相变温度成为了研究的...
- 王权康叶勤
- 关键词：二氧化钒薄膜离子掺杂智能玻璃
