张俊双
- 作品数：9 被引量：16H指数：3
- 供职机构：暨南大学理工学院物理学系更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目广州市科技计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响
- 室温条件下,采用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外一可见分光光度计(UV-Vis)和四探针对不同工作压强下所得的样品进行了结构、电学和光学性能的...
- 张俊双叶勤曾富强王权康
- 关键词：磁控溅射光电性能
- 薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响被引量：6
- 2011年
- 采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,沿c轴择优取向生长;在可见光范围内,薄膜平均透过率约为80%;随着薄膜厚度的增加和工作压强的降低,薄膜的电阻率呈下降趋势;得到的薄膜最低方块电阻为7.5Ω/□。
- 张俊双叶勤曾富强王权康
- 关键词：磁控溅射薄膜厚度光电性能
- 热氧化法制备二氧化钒薄膜的电学特性
- 采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO薄膜。金属V膜在空气中400℃和450℃热氧化获得了具有电学相变特性的二氧化钒薄膜。
- 曾富强叶勤张俊双王权康
- 关键词：二氧化钒薄膜热氧化磁控溅射热致变色
- 热氧化法制备二氧化钒薄膜及其相变温度研究被引量：7
- 2011年
- 采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(XPS)分析氧化温度对薄膜的微观结构、光学透过率、相变温度及其组分的影响。结果表明:金属V膜在空气中400℃热氧化1 h得到相变温度约为50℃和热滞宽度约10℃的二氧化钒薄膜。
- 曾富强叶勤张俊双王权康李仕萍
- 关键词：二氧化钒薄膜热氧化磁控溅射相变温度
- AZO透明导电薄膜的研究进展
- 主要介绍了AZO薄膜的晶体结构、导电机理、光电性能、典型制备技术和应用现状,并对其研究前景进行了展望.研究载流子的散射过程、掺杂物的作用、晶体陷阱态、微观结构对其电导率的影响；探索新的低温成膜技术，在室温下制备出高质量的...
- 张俊双叶勤
- 关键词：导电薄膜晶体结构光电性能
- AZO透明导电薄膜的研究进展
- 掺铝氧化锌透明导电薄膜(AZO)具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,作为ITO的替代材料成为了当前研究的热点。本文主要介绍了AZO薄膜的晶体结构、导电机理、光电性能、典型制备技术和应用现状,并对其研究前景...
- 张俊双叶勤
- 关键词：AZO薄膜透明导电薄膜光电性能
- 文献传递
- 热氧化法制备二氧化钒薄膜的电学特性
- 化钒在68℃发生半导体-金属相变，其晶体结构从低温单斜晶结构转变到高温四方金红石结构，光学和电学特性同时也发生可逆突变。采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜.金属V膜在空气中40...
- 曾富强叶勤张俊双王权康
- 关键词：半导体薄膜二氧化钒热氧化法微观结构电学特性
- 工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响
- 条件下,采用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和四探针对不同工作压强下所得的样品进行了结构、电学和光学性能的测量...
- 张俊双叶勤曾富强王权康
- 关键词：导电薄膜铝掺杂磁控溅射光电性能
- 磁控溅射法制备AZO透明导电薄膜及其性能研究
- 近年来,透明导电薄膜己成为液晶显示、触控面板、太阳能电池等的关键性材料之一,越来越受到人们的重视。且随着LCD的商品化、彩色化、大型化和提高太阳能电池能量转换效率的要求,对透明导电薄膜的要求也越来越高,需满足如下条件：电...
- 张俊双
- 关键词：溅射功率电学性能
- 文献传递
