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蒋文静

作品数:10 被引量:6H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 5篇专利

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇红外
  • 3篇MEMS
  • 2篇制作方法
  • 2篇温度
  • 2篇污染
  • 2篇光源
  • 2篇反应器
  • 2篇测试设备
  • 2篇测温
  • 2篇测温电阻
  • 2篇衬底
  • 1篇等效电路
  • 1篇等效电路模型
  • 1篇低失调
  • 1篇电极
  • 1篇电极结构
  • 1篇电路
  • 1篇电路模型
  • 1篇电容
  • 1篇调制

机构

  • 10篇中国科学院微...
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇北京工业大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院力...
  • 1篇江苏物联网研...

作者

  • 10篇蒋文静
  • 6篇欧文
  • 3篇刘战峰
  • 2篇李志刚
  • 2篇周静涛
  • 1篇刘战锋
  • 1篇杜王芳
  • 1篇王玮冰
  • 1篇苏永波
  • 1篇黄卓磊
  • 1篇刘鹏
  • 1篇吴德馨
  • 1篇孙昀
  • 1篇曹立强
  • 1篇赵建福
  • 1篇欧毅
  • 1篇郭航
  • 1篇金智
  • 1篇明安杰
  • 1篇陈大鹏

传媒

  • 1篇力学与实践
  • 1篇物理学报
  • 1篇红外与毫米波...
  • 1篇光子学报
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2023
  • 4篇2022
  • 1篇2021
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2014
10 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种肖特基二极管的制造方法
本发明公开了一种肖特基二极管的制造方法,涉及二极管技术领域,用于减小肖特基结与N型轻掺杂层之间的接触面积,降低肖特基接触部分的结电容,进而提高肖特基二极管的器件耐压特性,降低肖特基二极管在超高频的工作环境下击穿的风险。所...
穆成星周静涛金智苏永波韩超蒋文静刘志成武楠
超表面结构MEMS红外超窄带光源研究
2022年
针对常用的MEMS红外光源是类灰体光源,存在发射光谱范围比较广的问题,提出一种基于表面等离子体的超表面结构,将其覆盖在MEMS光源上实现一种有选择性、高发射率的窄带光源。还提出了一种改进的集总等效电路模型,通过模型能够比较准确地计算出超表面中结构尺寸对光源中心频率、带宽以及发射率的影响,探究了该结构中各个尺寸的改变对光源性能的影响。本文提出的模型计算结果跟仿真结果吻合,使用该模型能够避免耗时的、复杂的数值优化过程。
邹宇蒋文静欧文
关键词:红外物理
温度反应器及其制作方法
本发明提供一种温度反应器及其制作方法。通过在温度反应器制作工艺过程中形成密封腔体和观察窗口并在形成密封腔体的密封层中设置测温电阻,本发明能够克服传统温度反应器使用时存在的上下窗口难以对准导致的测试样品容易污染、温度反应器...
蒋文静刘战峰欧文
文献传递
上中国空间站“烧开水”,揭示沸腾现象中的重力作用机理
2022年
烧开水是一种常见的沸腾现象,平凡之中包含着深刻而复杂的科学奥秘,对沸腾传热规律的认识支撑了以蒸汽机为标志的第一次工业革命及后续诸多工业和工程应用。沸腾过程由于相变潜热的释放具有极大的热传递能力,特别有利于热控系统的轻量化设计,对航天相关技术的发展具有重要的应用价值。沸腾现象中气、液两相介质密度的巨大差异,导致在地面常重力环境中沸腾特征往往由重力主导。航天任务所遇到的不同重力环境,对沸腾过程中的重力效应及其变化规律的研究提出了迫切需求。变重力沸腾项目是中国空间站实验舱I首批科学实验任务之一,拟针对池沸腾传热与气泡热动力学行为的重力标度规律开展研究,即利用实验舱I变重力科学实验柜提供的长时间稳定的不同重力条件,研究沸腾过程中的气泡热动力学行为及传热特性,揭示重力对沸腾现象的影响机理,构建重力标度规律,深化对沸腾传热规律的认识,支撑人类对太空奥秘的不断探索。
杜王芳刘鹏刘鹏李响赵建福叶芳李响蒋文静李志刚
关键词:传热气泡动力学
一种具有高填充因子吸收层和低失调低噪声读出电路的红外探测系统(英文)被引量:2
2014年
使用红外探测器及读出电路,研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器,使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构,使得填充因子从20%提高到80%.器件的微机械结构面积为35μm×35μm.读出电路的失调电压为3μV.探测器的输出噪声为2μV.探测器的电压响应率为7 894.7 V/W,黑体探测率D*为1.56×109cmHz1/2/W,噪声等效温差为330 mK,响应时间为27 ms.
黄卓磊王玮冰蒋文静欧文明安杰刘战锋陈大鹏
关键词:红外探测器填充因子读出电路
一种悬浮结构微波滤波器及其制备方法
本发明提供一种悬浮结构微波滤波器,包括:上层硅片,上层硅片的下表面刻蚀有凹腔,用于形成封装帽结构;下层硅片,下层硅片的上表面沉积有介质薄膜,介质薄膜上形成有交指电极图形;其中,下层硅片上表面的介质薄膜下方的硅衬底被去除,...
欧毅李志刚蒋文静刘战峰欧文曹立强
文献传递
高功率密度多结级联905 nm垂直腔面发射激光器被引量:1
2022年
本文针对激光雷达等三维传感应用,设计并制备了905 nm波长的高功率密度5结级联垂直腔面发射激光器(vertical cavity surface emitting laser,VCSEL).制备的5结级联VCSEL单管(氧化孔径8μm)的功率转换效率高达55.2%;其最大斜率效率为5.4 W/A,约为相同孔径单结VCSEL的5倍.窄脉冲条件下(脉冲宽度为5.4 ns,占空比0.019%),5结级联19单元VCSEL阵列(单元孔径20μm)的峰值输出功率达到58.3 W,对应的峰值功率密度高达1.62 kW/mm^(2).对不同孔径器件(8—20μm)的光电特性进行了测试和分析.结果显示,这些器件的最大斜率效率均大于5.4 W/A,最大功率转换效率均大于54%.这些高性能VCSEL器件可作为激光雷达等三维传感应用的理想光源.
潘冠中荀孟赵壮壮孙昀蒋文静周静涛吴德馨
关键词:高功率密度
温度反应器及其制作方法
本发明提供一种温度反应器及其制作方法。通过在温度反应器制作工艺过程中形成密封腔体和观察窗口并在形成密封腔体的密封层中设置测温电阻,本发明能够克服传统温度反应器使用时存在的上下窗口难以对准导致的测试样品容易污染、温度反应器...
蒋文静刘战峰欧文
文献传递
基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作被引量:3
2018年
传统透射电子显微镜(TEM)观察液态样品特征时,通常将其先速冻成固态,而原位TEM可以动态地观察液态样品的变化,避免了一些额外因素的影响。设计了一款基于微机电系统(MEMS)技术的非流动原位液体TEM芯片,用于对液态样品结构动态变化的实时观测。采用低压化学气相沉积(LPCVD)法制备50 nm厚的低应力氮化硅薄膜作为芯片的电子束透射窗的材料,并在窗口层上面制作金属网格来加固其承载能力,采用MEMS技术完成了芯片的制造。实验结果表明,TEM芯片在相应的TEM样品杆的辅助下,成功实现了对铜纳米粒子生长过程中形态变化的实时观测。
焦磊涛蒋文静欧文
关键词:铜纳米粒子
MEMS红外光源及其制作方法
本发明提供一种MEMS红外光源及其制作方法,MEMS红外光源包括:衬底、支撑层、调节发射结构、加热结构和电极结构;所述调节发射结构包括:第一金属层、介质层和第二金属层;所述第一金属层贴合在所述介质层的下方,所述第二金属层...
邹宇蒋文静欧文
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