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许岩

作品数：29 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 28篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 17篇光刻
  • 17篇光刻机
  • 11篇掩模
  • 11篇基台
  • 9篇透镜
  • 9篇模版
  • 9篇光学
  • 9篇光学透镜
  • 6篇六自由度
  • 6篇步进
  • 5篇电机
  • 5篇气浮轴承
  • 5篇轴承
  • 4篇大行程
  • 4篇隔振
  • 3篇永磁
  • 3篇套刻
  • 3篇套刻精度
  • 3篇平面电机
  • 3篇隔振器

机构

  • 29篇清华大学

作者

  • 29篇许岩
  • 27篇朱煜
  • 27篇田丽
  • 27篇张鸣
  • 26篇徐登峰
  • 25篇尹文生
  • 21篇汪劲松
  • 20篇胡金春
  • 16篇杨开明
  • 15篇段广洪
  • 9篇李玉洁
  • 7篇张利
  • 6篇李强
  • 5篇王婧
  • 5篇马竞
  • 4篇穆海华
  • 3篇雷忠心
  • 3篇闵伟
  • 2篇刘召
  • 2篇李鑫

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 6篇2012
  • 5篇2011
  • 11篇2010
  • 2篇2009
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构
一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构，包括下永磁体、上永磁体、橡胶片、下永磁体固定板、橡胶固定座、上永磁体固定板、橡胶压块和橡胶片外缘固定压环；其中永磁体垂直方向磁化，且同极相对。该对永磁体在斥力的作用下形成一...
朱煜徐登峰李强张鸣尹文生杨开明李玉洁许岩田丽雷忠心张利
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一种无接触式粗精动叠层六自由度定位装置
一种无接触式粗精动叠层六自由度定位装置，涉及一种超精密六自由度运动定位装置。该定位装置包括一个微动平台，和对称布置在微动平台两侧的两个粗动台。每个粗动台由直线电机独立驱动实现沿Y轴运动，微动平台由十个音圈电机驱动实现六自...
朱煜张鸣杨开明李鑫汪劲松许岩田丽尹文生徐登峰胡金春穆海华
一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法
本发明公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法。本发明提供了一种能够准确测量静电卡盘静电吸附力、晶圆脱附时间和晶圆表面温度等技术指标的装置和方法；其中，装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测...
季林红王珂晟程嘉王兴阔徐登峰许岩张旭光杨义勇
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采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台双台交换系统包括基台、两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台和硅片台驱动装置。所述硅片台驱动装置由平面电机和气浮结构组成，平面电机采用永磁...
朱煜张鸣汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明段广洪田丽许岩
一种低频三自由度隔振器
一种低频三自由度隔振器，涉及一种用于精密领域、IC(集成电路)制造领域或光学领域上的一种隔振设备。该隔振器由空气弹簧和一对空心筒状永磁体构成，外空心筒状永磁体固定在空气弹簧主体的顶部，内空心筒状永磁体固定在空气弹簧的橡胶...
朱煜徐登峰汪劲松李强张鸣尹文生杨开明纪春华许岩田丽
一种呈阵列布置的多掩模光刻机硅片台系统
一种呈阵列布置的多掩模光刻机硅片台系统，该系统含有基台，至少一个硅片台，一组光学透镜和掩模台系统，所述的掩模台系统包括掩模台基座、掩模运动台和掩模承载台，所述的掩模台基座的长边为Y方向，短边为X方向，掩模运动台在掩模台基...
朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春许岩
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台双台交换系统包括基台、两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台和硅片台驱动装置。所述硅片台驱动装置由平面电机和气浮结构组成，平面电机采用永磁...
朱煜张鸣汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明段广洪田丽许岩
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一种低频三自由度隔振器
一种低频三自由度隔振器，涉及一种用于精密领域、IC(集成电路)制造领域或光学领域上的一种隔振设备。该隔振器由空气弹簧和一对空心筒状永磁体构成，外空心筒状永磁体固定在空气弹簧主体的顶部，内空心筒状永磁体固定在空气弹簧的橡胶...
朱煜徐登峰汪劲松李强张鸣尹文生杨开明纪春华许岩田丽
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采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
一种采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，该硅片台双台交换系统包括基台和两个相同的可以在基台上做大范围平面运动的硅片台。基台顶部设置有平面永磁阵列，每个硅片台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构和气浮结构组成，移动电磁结...
朱煜张鸣汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明段广洪田丽许岩
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一种扁平型空气隔振器
一种扁平型空气隔振器，该隔振器包括三个或四个主腔室，三个或四个附加气室。三个主腔室呈三角形布置，四个主腔室成四边形布置，附加气室并列布置在主腔室所形成的空间内。本发明与传统的双腔室空气隔振器相比，该隔振器采用带阻尼孔的附...
朱煜徐登峰黎远成闫永固李强张鸣李玉洁许岩雷忠兴张利田丽
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