陈兢
- 作品数：20 被引量：28H指数：4
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 基于MEMS技术的微麦克风的研制被引量：1
- 2000年
- 陈兢刘理天
- 关键词：MEMS微麦克风微电子
- 基于多孔硅技术的电容式微麦克风的分析与设计
- 陈兢刘理天李志坚
- 一种新型集成式电容微传声器的分析与设计
- 本文提出了一种使用MEMS技术制作的新型纹膜结构电容式微传声器,并对结构进行了设计和分析.模拟和分析的结果表明,纹膜结构可以大大消除薄膜初始应力对膜机械灵敏度的不良影响,增加膜的灵敏度.同时,微传声器的背极板由单晶硅衬底...
- 陈兢刘理天李志坚
- 关键词：电容式微传声器
- 文献传递
- 基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制被引量：5
- 2001年
- 基于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用 ＭＥＭＳＩ艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力，极大的降低了膜的机械灵敏度。理论分析和数值模拟表明，纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下，显著的降低残余应力的不良影响，大幅度增加膜的灵敏度。本文提出了一种使用ＭＥＭＳ技术制作的纹膜结构电容式微传声器，其制作工艺简单、重复性好，所用材料也能与 ＩＣＩ艺很好的兼容。圆片级测试的结果表明，在 １０ Ｖ的偏置电压下，这种微传声器在 ７ ｋＨｚ以下具有平直的频响，开路灵敏度可达 ４０ ｍv／Ｐａ，而其占用的芯片面积仅为 １．５ ×ｌ．５ ｍｍ２。进一步的研究可望将信号处理电路集成于片内，形成完整的微声学系统。
- 陈兢刘理天李志坚谭智敏
- 关键词：微电子机械系统微传声器电容式高灵敏度
- 基于多孔硅技术的电容式微麦克风的分析与设计
- 本文提出了一种使用MEMS技术制作的新型纹膜结构电容式微麦克风,并对结构进行了设计和分析。在此基础上提出了一种基于多孔硅技术的制作工艺。模拟和分析的结果表明,纹膜结构可以大大消除薄膜初始应力对膜机械灵敏度的不良影响,增加...
- 陈兢刘理天李志坚
- 文献传递
- MEMS的研究与应用
- 2003年
- 本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础,并结合 MEMS 的发展史和制造技术,对MEMS 的应用领域作了重点阐述,最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。
- 杨轶张宁欣张林涛陈兢任天令刘理天
- 关键词：MEMS微电子机械系统传感器LIGA技术微机械加工
- 单片集成电容式硅基微传声器及其制作工艺
- 单片集成电容式硅基微传声器及其制作工艺属于硅基微传声器技术领域,其特征在于:上电极振膜在声学孔处有纹槽以大大降低膜的应力,并采用复合膜结构使其膜的张应力和压应力相互抵消,下电极板为用单晶硅衬底制作,在上、下电极间有绝缘层...
- 刘理天陈兢李志坚谭智敏
- 文献传递
- 基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作被引量：7
- 2002年
- 研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内应力 ,防止产生过度变形 ;中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度 ,降低驱动电压 .体硅腐蚀出的硅杯既减小了光开关的插损 ,又便于端面输入输出光纤的精确对准与固定 ,有效降低封装成本 .制成的开关转换电压为 2 0 V,关态隔离度为 87% ,开态插损为 0 .15 d B.其结构和工艺简单 ,易于与 IC工艺相结合形成规模生产 ,如增加膜的层数便能制成基于 F- P干涉仪结构的滤波器 .
- 徐杨吴霁虹刘理天陈兢董良
- 关键词：光纤通信波分复用
- 硅基微传声器的研究进展被引量：1
- 2002年
- 基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电路兼容,多项指标已位于国际先进水平。
- 陈兢刘理天李志坚
- 关键词：电容式微传声器驻极体传声器前置放大器频率响应微电子微机械
- 电容式单芯片纹膜微传声器制备工艺改进
- 对单片纹膜电容式微传声器的工艺设计进行改进,将体硅微加工放大部分的表面硅微加工之后进行.由此带来的以体硅腐蚀时硅片的正面保护和体硅腐蚀的控制等新的工艺问题.本文进一步探讨了黑胶,704胶,夹具三种方式进行硅片正面的保护的...
- 贾泽陈兢任天令刘建设刘理天
- 关键词：微传声器MEMS
- 文献传递
