刘理天
- 作品数：623 被引量：890H指数：12
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构及其制备方法
- 本发明涉及一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构的制备方法，首先制备PZT和PT先驱溶胶备用，在单晶硅衬底上生长二氧化硅，再在溅射一层金属Pt/Ti层作底层电极，在其上旋涂一层PT溶胶，再旋涂一层PZT溶胶，最后在铁电薄膜...
- 任天令张林涛刘理天李志坚
- 文献传递
- 混频式环振压力传感器
- 为了解决传感器的数字化,提出了一种新的环振式数字压力传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,采用混频器作为片内的信号处理单元,实现环形振荡器的频率相减.该传感器的输出量为频率信号,具有准数字输出、灵敏度高...
- 张兆华岳瑞峰刘理天
- 关键词：压力传感器环形振荡器混频器
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微麦克风的研制被引量：1
- 2000年
- 陈兢刘理天
- 关键词：MEMS微麦克风微电子
- 硅基微静电马达被引量：4
- 1995年
- 本文介绍了硅基微静电马达的设计考虑、制作工艺和测量结果，该马达结构上的改进主要体现在两方面：通过在微马达转子的下面集成光伏器件实现了对马达转速的片内检测，这对于研究微马达动力学和构成ＭＥＭＳ有着重要的意义；利用复合膜牺牲层技术制成了一种锥状轴承，该轴承能够减小马达的摩擦力矩，微静电马达转子直径分１００μｍ和１２０μｍ两种，定子与转子极之间的空气间隙有２μｍ、３μｍ和４μｍ三种。初步测量结果表明该马达的最小启动电压为９３Ｖ，最高平衡转速达２３９ｒｐｓ。
- 孙夕庆李志坚刘理天
- 关键词：微电机电动机微电机械系统硅基
- 新型硅基MOS力敏传感器的设计与制作
- 2008年
- 随着汽车、航天、生物等领域对力敏传感器的越来越巨大的市场需求,力敏传感器再次成为研究的热点。压阻式力敏传感器由于其性能稳定、制作工艺简单、稳定性好且价格低成为商家的首选。研究表明,在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化,具有类似压敏电阻的力敏效应。基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的硅基MOS力敏传感器。该器件在与传统的压阻式力敏传感器相比,一方面继承了其制作工艺简单、稳定性和线性度好等优点,另一方面大幅提高了传感器灵敏度并降低了功耗,使得器件性能得到整体提高。
- 张艳红刘理天张兆华林惠旺
- 关键词：MOS晶体管灵敏度功耗
- 硅基PZT压电驱动扫描微镜的设计与优化
- 2005年
- 设计并研究了一种硅基PZT压电悬臂梁驱动扫描微镜器件.这种扫描微镜采用单晶硅平面微镜面作为光扫描反射元件,由硅基压电复合弹性悬臂梁作为驱动机构控制水平微镜面偏转实现光信号的扫描.整个光扫描微器件可以阵列方式集成在单个硅芯片上,形成光扫描器阵列.采用数值有限元分析的方法模拟和优化了压电复合弹性悬臂梁驱动扫描微镜的力学性能.分析表明,微镜偏转角与压电悬臂长度和工作电压呈线性关系.在研究了影响光学扫描微镜机电性能各项因素的基础上,给出了器件结构优化的方法.
- 方华军刘理天任天令
- 关键词：MEMS压电驱动PZT
- 一种新型基于电润湿的受光反射型显示单元被引量：3
- 2006年
- 利用电润湿原理制备了一种新型受光反射型显示单元。利用具有良好黏合性、疏水性和耐油性的PDMS(聚二甲基硅氧烷)材料,研制了结构精简的反射型显示单元,成功地控制了显示单元中油滴的扩张与收缩,实现了像素单元对比度的变化。
- 胡欢吴建刚赵皛曦王喆垚岳瑞峰刘理天
- 关键词：微流体聚二甲基硅氧烷
- 串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究被引量：2
- 2008年
- 介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造。所设计的串联电容式RF MEMS开关利用薄膜淀积中产生的内应力使MEMS桥膜向上发生翘曲,从而提高所设计的开关的隔离度,克服了串联电容式RF MEMS开关通常只有在1GHz以下才能获得较高隔离度的缺点。其工艺与并联电容式RF MEMS开关完全相同,解决了并联电容式RF MEMS开关不能应用于低频段（〈10GHz）的问题。其插入损耗为-0.88dB@3GHz,在6GHz以上,插入损耗为-0.5dB;隔离度为-33.5dB@900MHz、-24dB@3GH和-20dB@5GHz,适合于3-5GHz频段的应用。
- 侯智昊刘泽文胡光伟刘理天李志坚
- 关键词：射频微电子机械系统MEMS开关内应力
- 一种热致发声装置
- 本发明涉及一种热致发声装置，属于发声装置技术领域，其包括一发声元件以及与该发声元件相连的一信号输入装置；其特征在于，所述发声元件包括至少一石墨烯薄膜结构，所述信号输入装置输入信号给该石墨烯薄膜结构，使该石墨烯薄膜结构改变...
- 任天令田禾谢丹杨轶刘理天
- 单片集成MOS运放压力传感器
- 2000年
- 岳瑞峰刘理天
- 关键词：单片集成电路运放压力传感器微电子机械系统
