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刘海韵

作品数：24 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：经济管理文化科学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 4篇经济管理
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 17篇多晶
  • 17篇多晶硅
  • 9篇残余应力
  • 7篇偏转
  • 7篇热膨胀
  • 7篇热膨胀系数
  • 7篇绝缘衬底
  • 7篇衬底
  • 6篇电阻
  • 5篇多晶硅材料
  • 5篇计算方法
  • 5篇硅材料
  • 4篇游标
  • 4篇金属
  • 3篇电偶
  • 3篇多晶硅电阻
  • 3篇塞贝克系数
  • 3篇同步测试
  • 3篇热电偶
  • 3篇温差

机构

  • 24篇东南大学

作者

  • 24篇刘海韵
  • 23篇周再发
  • 20篇李伟华
  • 13篇蒋明霞
  • 8篇张卫青
  • 5篇袁风良
  • 4篇王雷
  • 4篇黄庆安
  • 4篇孙超
  • 4篇张晓强
  • 1篇唐洁影
  • 1篇聂萌
  • 1篇王磊
  • 1篇黄见秋

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 5篇2014
  • 5篇2013
  • 10篇2012
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微机电双向游标尺
本发明公开了一种用于测量一维位移量的双向游标尺结构，该结构既可以测量正位移，也可以测量负位移。双向游标由左右两部分组成，其中左半部分的核心结构为“T”型头，右半部分的核心结构为“凸”型头，“T”型头和“凸”型头相对放置，...
李伟华刘海韵周再发
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一种微机电双向偏转指针
本发明提供了一种用于测量微机电结构偏转角的双向指针结构。微机电双向偏转指针由四个部分组成：一维双向移动测量游标尺；偏转指针；双向移动电热执行器；连接一维双向移动测量游标尺和双向移动电热执行器的水平直梁，以及连接偏转指针与...
李伟华王雷张晓强周再发刘海韵孙超
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多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构
本发明公开了一种多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构，该技术利用两个测温电阻分别测量热稳态时热电偶冷、热端的实际温差，测量热电偶堆的开路电压，并通过简单计算得到多晶硅-金属热电偶的塞贝克系数。本发明的测试结构的结构...
李伟华袁风良周再发蒋明霞刘海韵
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表面加工多晶硅薄膜特性在线测试方法研究
微电子机械系统(MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystem)是在微电子技术基础上发展起来的前沿研究领域。MEMS加工工艺中应用的材料大多为薄膜材料，因受到不同工艺条件的影响，相同的薄膜材料往往...
刘海韵
关键词：MEMS薄膜多晶硅
多晶硅热膨胀系数在线测试结构
本发明公开了一种多晶硅热膨胀系数在线测试结构，它对称布置有一对结构基本相同的多晶硅偏转指针，并利用该对指针所受多晶硅残余应力影响相同的特点，使得偏转指针尖端部偏转量不受残余应力的影响。本发明具有测试结构简单、测试方法简便...
李伟华袁风良周再发蒋明霞刘海韵
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一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置
本实用新型公开了一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置，包括绝缘衬底和三个测试单元，每个测试单元包括磷硅玻璃层和四探针多晶硅电阻测试桥，磷硅玻璃层固定于绝缘衬底顶面；磷硅玻璃层被刻蚀成相互平行的凹槽，在凹槽间形成台阶...
刘海韵黄庆安周再发
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微机电双向游标尺
本发明公开了一种用于测量一维位移量的双向游标尺结构，该结构既可以测量正位移，也可以测量负位移。双向游标由左右两部分组成，其中左半部分的核心结构为“T”型头，右半部分的核心结构为“凸”型头，“T”型头和“凸”型头相对放置，...
李伟华刘海韵周再发
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多晶硅材料残余应力在线测试结构
本发明公开了一种多晶硅材料残余应力在线测试结构，该测试结构包括三个基本结构相同的多晶硅偏转指针，三个多晶硅偏转指针以“品”字型放置，所有指针都指向中心，通过指针在残余应力作用下初始偏转方向的控制使得间距保持和间距变化能够...
李伟华张卫青蒋明霞周再发刘海韵
多晶硅断裂强度的在线测试结构
本实用新型公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构，包括第一测试单元、第二测试单元、第三测试单元和绝缘衬底，所述第一测试单元、第二测试单元和第三测试单元设置在绝缘衬底上；对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得...
李伟华张卫青周再发刘海韵蒋明霞
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多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构
本实用新型公开了一种多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构，该技术利用两个测温电阻分别测量热稳态时热电偶冷、热端的实际温差，测量热电偶堆的开路电压，并通过简单计算得到多晶硅-金属热电偶的塞贝克系数。本实用新型的测试结...
李伟华袁风良周再发蒋明霞刘海韵
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