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张卫青

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：经济管理文化科学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇经济管理
  • 1篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 8篇多晶
  • 8篇多晶硅
  • 5篇多晶硅材料
  • 5篇热膨胀
  • 5篇热膨胀系数
  • 5篇硅材料
  • 4篇绝缘衬底
  • 4篇衬底
  • 3篇电阻
  • 3篇偏转
  • 3篇计算方法
  • 3篇残余应力
  • 3篇测试设备
  • 2篇十字梁
  • 2篇数学
  • 2篇扭转角
  • 2篇热驱动
  • 2篇转角
  • 2篇泊松比
  • 1篇电极

机构

  • 9篇东南大学

作者

  • 9篇张卫青
  • 8篇李伟华
  • 8篇刘海韵
  • 8篇周再发
  • 8篇蒋明霞

年份

  • 3篇2014
  • 6篇2012
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
多晶硅材料残余应力在线测试结构
本发明公开了一种多晶硅材料残余应力在线测试结构，该测试结构包括三个基本结构相同的多晶硅偏转指针，三个多晶硅偏转指针以“品”字型放置，所有指针都指向中心，通过指针在残余应力作用下初始偏转方向的控制使得间距保持和间距变化能够...
李伟华张卫青蒋明霞周再发刘海韵
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多晶硅材料残余应力在线测试结构
本发明公开了一种多晶硅材料残余应力在线测试结构，该测试结构包括三个基本结构相同的多晶硅偏转指针，三个多晶硅偏转指针以“品”字型放置，所有指针都指向中心，通过指针在残余应力作用下初始偏转方向的控制使得间距保持和间距变化能够...
李伟华张卫青蒋明霞周再发刘海韵
多晶硅断裂强度的在线测试结构
本实用新型公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构，包括第一测试单元、第二测试单元、第三测试单元和绝缘衬底，所述第一测试单元、第二测试单元和第三测试单元设置在绝缘衬底上；对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得...
李伟华张卫青周再发刘海韵蒋明霞
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面向FOUNDRY的MEMS薄膜力学参数在线测试研究
力学传感器是MEMS传感器中的一个大类。诸如材料的断裂强度、残余应力、杨氏模量、泊松比等，是力学传感器设计的重要参数，也是影响MEMS器件性能与可靠性的关键参数。在其他MEMS传感器类中，凡是涉及到形变、振动等行为的，其...
张卫青
关键词：MEMS薄膜
多晶硅材料残余应力在线测试结构
本实用新型公开了一种多晶硅材料残余应力在线测试结构，该测试结构包括三个基本结构相同的多晶硅偏转指针，三个多晶硅偏转指针以“品”字型放置，所有指针都指向中心，左下部多晶硅偏转指针和右下部多晶硅偏转指针结构完全相同，以测试结...
李伟华张卫青蒋明霞周再发刘海韵
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多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法
本发明公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法，对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得到的相关电阻值代入计算公式，利用多个计算方程消去热膨胀系数，最终得到多晶硅的断裂强度。本发明的测试方法简单，测...
李伟华张卫青周再发刘海韵蒋明霞
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一种多晶硅泊松比在线测试结构
本发明公开了一种多晶硅泊松比在线测试结构，包括绝缘衬底、非对称的多晶硅十字梁、第一多晶硅下极板和第二多晶硅下极板，并通过静电力驱动的方式使非对称的多晶硅十字梁发生偏转，从而根据几何关系和材料力学原理获得多晶硅材料的泊松比...
李伟华张卫青蒋明霞周再发刘海韵
一种多晶硅泊松比在线测试结构
本发明公开了一种多晶硅泊松比在线测试结构，包括绝缘衬底、非对称的多晶硅十字梁、第一多晶硅下极板和第二多晶硅下极板，并通过静电力驱动的方式使非对称的多晶硅十字梁发生偏转，从而根据几何关系和材料力学原理获得多晶硅材料的泊松比...
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多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法
本发明公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法，对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得到的相关电阻值代入计算公式，利用多个计算方程消去热膨胀系数，最终得到多晶硅的断裂强度。本发明的测试方法简单，测...
李伟华张卫青周再发刘海韵蒋明霞
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