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劳技军

作品数：18 被引量：64H指数：5
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇期刊文章
  • 6篇会议论文
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 10篇一般工业技术
  • 4篇理学
  • 3篇电子电信
  • 2篇金属学及工艺

主题

  • 8篇多层膜
  • 8篇纳米
  • 8篇纳米多层膜
  • 6篇力学性能
  • 6篇力学性
  • 4篇微结构
  • 4篇晶体
  • 4篇晶体生长
  • 4篇溅射
  • 4篇TEM观察
  • 4篇超硬效应
  • 3篇亚稳相
  • 3篇HR
  • 2篇氮化
  • 2篇弹性模量
  • 2篇陶瓷
  • 2篇陶瓷薄膜
  • 2篇气相沉积
  • 2篇显微硬度
  • 2篇相转变

机构

  • 18篇上海交通大学
  • 2篇华东师范大学
  • 2篇苏州大学

作者

  • 18篇劳技军
  • 16篇李戈扬
  • 6篇韩增虎
  • 6篇孔明
  • 5篇胡晓萍
  • 3篇虞晓江
  • 3篇戴嘉维
  • 3篇张惠娟
  • 3篇顾明元
  • 3篇田家万
  • 2篇宁兆元
  • 2篇董云杉
  • 2篇杨春生
  • 2篇曹章轶
  • 1篇李鹏兴
  • 1篇张俊秋
  • 1篇张慧娟

传媒

  • 4篇电子显微学报
  • 2篇物理学报
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇理化检验（物...
  • 1篇上海交通大学...
  • 1篇TFC’03...

年份

  • 2篇2005
  • 6篇2004
  • 2篇2003
  • 6篇2002
  • 2篇2001
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
TiN/SiC纳米多层膜的生长结构与力学性能被引量：31
2004年
研究了TiN SiC纳米多层膜中立方SiC(B1 cubicSiC)的形成及其对TiN SiC多层膜力学性能的影响 .结果表明 :在TiN SiC多层膜中 ,非晶态的SiC层在厚度小于 0 6nm时形成立方结构并与TiN形成共格外延生长的超晶格柱状晶 ,使多层膜产生硬度和弹性模量显著升高的超硬效应 ,最高硬度超过 6 0GPa .SiC随着层厚的增加转变为非晶相 ,从而阻止了多层膜的共格外延生长 ,使薄膜呈现TiN纳米晶和SiC非晶组成的层状结构特征 ,同时多层膜的硬度和弹性模量下降 .TiN
劳技军孔明张惠娟李戈扬
关键词：超硬效应
纳米多层膜中立方AlN外延生长的HRTEM观察被引量：5
2002年
田家万劳技军虞晓江李戈扬宁兆元
关键词：纳米多层膜AINHRTEM高分辨电子显微镜立方相
基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响被引量：4
2002年
劳技军韩增虎胡晓萍李戈扬杨春生
关键词：基片温度微结构力学性能生长速率磁控溅射电子显微分析
Nb-Si-N混合薄膜的HRTEM观察
2002年
韩增虎胡晓萍劳技军李戈扬
关键词：HRTEM高分辨电子显微镜微结构弹性模量
气相沉积Ni薄膜的微结构和力学性能
气相沉积Ni薄膜是微机械技术中的重要材料.本文采用SEM、TEM、AFM和毫牛力学探针研究了不同沉积温度下Ni薄膜的微结构和力学性能,并研究了基片温度对其微结构和力学性能的影响.结果表明,室温下溅射沉积的Ni薄膜晶粒细小...
劳技军韩增虎田家万李戈扬杨春生
关键词：微结构显微硬度弹性模量
文献传递
SiC/TiN超硬纳米多层膜及其制作工艺
一种SiC/TiN超硬纳米多层膜及其制作工艺，属于陶瓷薄膜领域。SiC/TiN超硬纳米多层膜由TiN层和SiC层交替沉积在金属或陶瓷的基体上组成，TiN层的厚度为4～50nm，SiC层的厚度为0.4～0.8nm，纳米多层...
李戈扬劳技军孔明戴嘉维张惠娟顾明元
文献传递
纳米多层膜中晶体生长的互促效应被引量：2
2004年
劳技军曹章轶孔明董云杉李戈扬
关键词：纳米多层膜晶体生长碳化硅材料晶体结构分析
Nb-Si-N混合薄膜的HRTEM观察
韩增虎胡晓萍劳技军李戈扬
文献传递
基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响
劳技军韩增虎胡晓萍李戈扬杨春生
文献传递
纳米多层膜中的相转变与超硬效应
本文通过气相沉积的制备方法，分别研究了AlN/VN多层膜中AlN从稳定相六方相（h-AlN）转变为亚稳立方相（c-AlN）和TiN/SiC多层膜中非晶SiC晶化为立方SiC（c-SiC）的相转变过程，并讨论了两种不同结构...
劳技军
关键词：纳米多层膜超硬效应晶体生长力学性能气相沉积相转变
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